濕電子化學(xué)品是微電子制造技術(shù)的關(guān)鍵性材料,在顯影、蝕刻、清洗等工藝中必不可少,直接關(guān)系到下游產(chǎn)品質(zhì)量。由于處于精細化工和電子信息行業(yè)交叉的領(lǐng)域,其專業(yè)跨度大,技術(shù)門檻高,被德國、美國和日本的知名企業(yè)占據(jù)著高端市場大部分份額。
中國的濕電子化學(xué)品行業(yè)起步較晚,目前在中低端市場已發(fā)展成熟,廣泛應(yīng)用于太能電池生產(chǎn)環(huán)節(jié),市場競爭激烈;而顯示面板、半導(dǎo)體等行業(yè)的需求仍然依賴進口。
全球及中國主要的濕電子化學(xué)品供應(yīng)商
地區(qū) | 企業(yè) | 企業(yè)情況 |
歐美 | BASF | 德國BASF為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和顯示面板行業(yè)生產(chǎn)提供電子化學(xué)品產(chǎn)品,是電子化學(xué)品行業(yè)的領(lǐng)先供應(yīng)商 |
霍尼韋爾 | 美國霍尼韋爾能夠提供氫氟酸、氫氧化銨、過氧化氫和鹽酸等高純度濕電子化學(xué)品 | |
默克 | 德國默克能夠為晶圓加工領(lǐng)域提供高純濕電子化學(xué)品解決方案 | |
英特格 | 美國英特格是半導(dǎo)體和其他高科技行業(yè)的先進材料和工藝解決方案的供應(yīng)商 | |
日本 | 關(guān)東化學(xué) | 日本關(guān)東化學(xué)主要從事半導(dǎo)體用酸堿類超凈高純試劑的生產(chǎn)、研發(fā) |
三菱化學(xué) | 日本三菱化學(xué)主要生產(chǎn)高純濕電子化學(xué)品,如硫酸、硝酸、鹽酸、草酸、雙氧水、氨水 | |
住友化學(xué) | 日本住友化學(xué)主要從事半導(dǎo)體、顯示面板等領(lǐng)域超凈高純試劑的生產(chǎn)、研發(fā) | |
Stella | 日本Stella主要從事半導(dǎo)體及顯示面板用高純氫氟酸生產(chǎn) | |
中國臺灣地區(qū) | 東應(yīng)化 | 臺灣東應(yīng)化主要生產(chǎn)半導(dǎo)體、TFT-LCD用剝離液、顯影液等產(chǎn)品 |
聯(lián)仕 | 臺灣聯(lián)仕擁有3-4萬噸濕電子化學(xué)品年產(chǎn)能,在我國半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域中有一定市場份額 | |
韓國 | 東友 | 韓國東友、韓國東進兩廠家主要生產(chǎn)顯示面板加工用的濕電子化學(xué)品,在我國有一定規(guī)模的市場份額 |
東進 | ||
Soul-brain | 韓國Soul-brain是大型氫氟酸生產(chǎn)廠商 | |
中國大陸 | 江化微 | 江化微主營業(yè)務(wù)為超凈高純試劑、光刻膠配套試劑等濕電子化學(xué)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。主要產(chǎn)品為氫氟酸、剝離液等 |
中巨芯 | 中巨芯是國內(nèi)領(lǐng)先的電子化學(xué)品供應(yīng)商,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面板以及光伏等領(lǐng)域的清洗、刻蝕、成膜等制造工藝環(huán)節(jié) | |
晶瑞電材 | 晶瑞電材生產(chǎn)的主要品種包括氫氟酸、雙氧水、氨水、鹽酸、硫酸、硝酸等 | |
格林達 | 格林達是一家專業(yè)從事高純電子化學(xué)品研發(fā)、生產(chǎn)和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè),是全球主要的顯影液TMAH生產(chǎn)商之一 | |
上海新陽 | 上海新陽主要從事電子電鍍與電子清洗系列功能性化學(xué)材料的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售 | |
飛凱材料 | 飛凱材料從光通信領(lǐng)域紫外固化材料的自主研發(fā)和生產(chǎn)開始,目前已將核心業(yè)務(wù)范圍逐步拓展至集成電路制造、屏幕顯示等領(lǐng)域 | |
新宙邦 | 新宙邦是領(lǐng)先的電子化學(xué)品和功能材料企業(yè),產(chǎn)品主要有鋰電池化學(xué)品、電容器化學(xué)品、有機氟化學(xué)品、半導(dǎo)體化學(xué)品以及LED封裝材料等 | |
湖北興福 | 湖北興福產(chǎn)品種類由最初的電子級磷酸拓展到電子級硫酸、電子級硝酸、電子級鹽酸、電子級雙氧水、電子級氨水等 | |
江陰潤瑪 | 江陰潤瑪主要從事超凈高純試劑的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,主要產(chǎn)品有氫氟酸、硝酸、蝕刻液等 |
——中國半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品市場情況
超凈高純試劑和配套材料是電子工業(yè)中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料,其質(zhì)量好壞直接影響到電子產(chǎn)品的成品率、電性能及可靠性,也對微電子制造技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化有重大影響。因此,電子工業(yè)的發(fā)展要求超凈高純試劑和配套材料與之同步發(fā)展,不斷地更新?lián)Q代,以適應(yīng)其在技術(shù)方面不斷推陳出新的需要。近年來,國內(nèi)晶圓廠產(chǎn)能快速增長,據(jù)SEMI預(yù)計,中國大陸晶圓廠裝機產(chǎn)能達到每月400萬片英寸等效晶圓,年復(fù)合增長率為12%,增速遠高于國外其他地區(qū)。晶圓廠產(chǎn)能的增加帶動上游濕電子化學(xué)品(濕電子化學(xué)品屬于電子化學(xué)品領(lǐng)域的分支,是微電子、基礎(chǔ)化工材料電子化學(xué)品電子信息材料(包括微電子化學(xué)品)、電子信息產(chǎn)品(半導(dǎo)體、太陽能電池、LED、平板顯示、鋰電池等)、光電子濕法工藝制程中使用的各種液體化工材料,包括超凈高純試劑及配套材料等)的需求。
中國半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品市場
年份 | 前道工藝 | 后道工藝 | 合計 |
2016 | 3.31 | 1.57 | 4.88 |
2017 | 3.74 | 1.67 | 5.41 |
2018 | 4.25 | 1.85 | 6.10 |
2019 | 4.10 | 1.78 | 5.88 |
2020 | 5.19 | 1.96 | 7.15 |
2021 | 5.80 | 2.14 | 7.94 |
2022 | 6.45 | 2.38 | 8.83 |
中國半導(dǎo)體前道用濕電子化學(xué)品中,需求量最大的是硫酸和雙氧水約各占總需求的25%左右,其次是光刻膠配套試劑(包括顯影液、稀釋液、剝離液等,未考慮鋁制程或銅制程使用的剝離清洗劑產(chǎn)品)約占半導(dǎo)體前道工藝用濕電子化學(xué)品需求的20%。
中國半導(dǎo)體前道工藝用濕電子化學(xué)品細分占比
目前國內(nèi)6吋及以下晶圓加工所用的濕電子化學(xué)品的國產(chǎn)化率已經(jīng)超過80%。8吋晶圓產(chǎn)品加工所用的濕電子化學(xué)品國產(chǎn)化率正在不斷提升,而12吋晶圓產(chǎn)品所用的濕電子化學(xué)品國產(chǎn)化率非常低。
近來來,中國多個8吋或12吋晶圓廠項目落地投產(chǎn),帶動了材料及設(shè)備的需求。而近幾年,美國對中國企業(yè)的出口管控、技術(shù)封鎖,日本對韓國半導(dǎo)體材料的限制出口等一系列情況,再一次敲響了半導(dǎo)體國產(chǎn)化的鐘聲。未來或許有更多的資金投入到國內(nèi)晶圓廠的建設(shè)。
目前,12吋晶圓加工主導(dǎo)半導(dǎo)體用濕電子化學(xué)品需求。12吋晶圓制造過程中所使用的濕電子化學(xué)品約為24千克/片,8吋晶圓消耗量約為12吋晶圓消耗量的五分之一,約為5千克/片左右,6吋晶圓消耗量約為12吋晶圓消耗量的八分之一左右,約為3千克/片,以此來推算國內(nèi)半導(dǎo)體用濕電子化學(xué)品的需求量。
根據(jù)未來中國半導(dǎo)體晶圓產(chǎn)能進行推算,亞化咨詢預(yù)計到2025年,中國半導(dǎo)體用濕電子化學(xué)品需求量將超過60萬噸。
——企業(yè)份額與國產(chǎn)化機遇(附中國半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品項目情況)
雖然中國市場空間廣闊,但在濕電子化學(xué)品的高端產(chǎn)品上,中國企業(yè)并不占優(yōu)。
國際上,濕電子化學(xué)品的應(yīng)用始于20世紀60年代,早于中國十幾年,因而最先進的技術(shù)被歐美、日本等國家和地區(qū)壟斷。目前,國際上制備了SEMI G1至SEMI G4不同等級的濕電子化學(xué)品標(biāo)準(zhǔn),領(lǐng)先的企業(yè)在G4等級技術(shù)上趨于成熟,并在G5等級已有突破。
全球濕電子化學(xué)品的第一大市場份額,由歐美傳統(tǒng)老牌企業(yè)產(chǎn)品占領(lǐng),其市場份額(以銷售額計)約為33%。德國的巴斯夫(Basf)公司、E.Merck公司、美國的亞什蘭集團、Arch化學(xué)品公司以及霍尼韋爾公司等是其中代表。
第二大市場份額,由日本的十家左右生產(chǎn)企業(yè)擁有,約占27%的市場份額。其大型企業(yè)包括關(guān)東化學(xué)公司、三菱化學(xué)、京都化工、日本合成橡膠、住友化學(xué)、和光純藥工業(yè)(Wako)、stella-chemifa公司等。
第三大市場份額,主要由中國臺灣企業(yè)生產(chǎn)的濕電子化學(xué)品所占據(jù),約占全球市場份額的19%。中國臺灣與韓國的部分產(chǎn)品已具備與歐美及日本企業(yè)競爭的實力。
中國大陸大多數(shù)企業(yè)濕電子化學(xué)品產(chǎn)品等級在SEMI G1至G2,部分企業(yè)在單一產(chǎn)品上達到SEMI G3級別,只有極少數(shù)企業(yè)個別產(chǎn)品達到SEMI G4級別,與世界領(lǐng)先水平還有較大差距。在濕電子化學(xué)品的高端產(chǎn)品上,國產(chǎn)化率僅10%左右。內(nèi)資企業(yè)的布局集中于中低端市場。
濕電子化學(xué)品領(lǐng)域,江化微、晶瑞股份等少數(shù)企業(yè)產(chǎn)品技術(shù)等級可達到SEMI標(biāo)準(zhǔn)G4、G5級,客戶覆蓋中芯國際、華潤微電子、長電科技等企業(yè),興發(fā)集團、巨化股份等企業(yè)也有布局。
半導(dǎo)體材料作為國家大基金二期的重點投資領(lǐng)域之一,伴隨投資陸續(xù)落地,以及本土公司自主研發(fā)成果兌現(xiàn),國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)替代腳步將進一步加速,有望在關(guān)鍵技術(shù)上實現(xiàn)突破。
行業(yè)國產(chǎn)化率提升機遇明顯。高端產(chǎn)品技術(shù)門檻高,市場被外企層層包圍;中低端市場容易進入,但易形成同質(zhì)化競爭。企業(yè)如何打造自身產(chǎn)品競爭力?成為行業(yè)關(guān)注的話題。
審核編輯:湯梓紅
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