電子發(fā)燒友原創(chuàng) 章鷹

近日，全球半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)帶動(dòng)了上游半導(dǎo)體材料旺盛需求，“光刻膠”的突破也成為國(guó)內(nèi)關(guān)注焦點(diǎn)。正當(dāng)日本光刻膠企業(yè)JSR、東京應(yīng)化和美國(guó)Lam Research在EUV光刻膠領(lǐng)域進(jìn)行激烈競(jìng)爭(zhēng)的時(shí)候，中國(guó)國(guó)產(chǎn)光刻膠企業(yè)在國(guó)內(nèi)晶圓廠布局的成熟制程領(lǐng)域，展開(kāi)了新產(chǎn)品上市和量產(chǎn)的爭(zhēng)奪戰(zhàn)。

南大光電最新消息顯示，國(guó)產(chǎn)193nm（ArF）光刻膠研發(fā)成功，這家公司成為通過(guò)國(guó)家“02專項(xiàng)”驗(yàn)收的ArF光刻膠項(xiàng)目實(shí)施主體；徐州博康宣布，該公司已開(kāi)發(fā)出數(shù)十種高端光刻膠產(chǎn)品系列，包括193nmArF濕法光刻膠、ArF干法光刻膠，248nmKrF正負(fù)型光刻膠、KrF厚膜光刻膠、365nmi線光刻膠以及電子束膠等。

今年8月以來(lái)，多家光刻膠企業(yè)發(fā)布財(cái)報(bào)。彤程新材旗下北京科華的半導(dǎo)體光刻膠業(yè)務(wù)2022年上半年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入8543.16萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)51.3%；南大光電發(fā)布業(yè)績(jī)預(yù)告，預(yù)計(jì)2022年上半年盈利1.4億元至1.52億元，同比上年增63.7%至77.74%，國(guó)內(nèi)光刻膠企業(yè)在業(yè)務(wù)增長(zhǎng)方面都有了積極的進(jìn)展。

光刻膠為何要謀求國(guó)產(chǎn)替代？中國(guó)國(guó)產(chǎn)光刻膠企業(yè)的市場(chǎng)發(fā)展機(jī)會(huì)和挑戰(zhàn)如何？光刻膠企業(yè)發(fā)展要具備哪些核心競(jìng)爭(zhēng)力？在南京半導(dǎo)體大會(huì)期間，徐州博康公司董事長(zhǎng)傅志偉和研發(fā)總監(jiān)潘新剛給我們帶來(lái)前沿觀點(diǎn)和獨(dú)家分析。

逼出來(lái)的“光刻膠國(guó)產(chǎn)替代”，企業(yè)要跨越資金、技術(shù)和客戶三大壁壘

與半導(dǎo)體設(shè)計(jì)、半導(dǎo)體封測(cè)甚至晶圓產(chǎn)業(yè)相比，光刻膠是一個(gè)“小眾”產(chǎn)業(yè)，而且光刻膠還分為顯示面板用光刻膠和半導(dǎo)體用光刻膠，半導(dǎo)體用光刻膠的規(guī)模遠(yuǎn)小于面板用光刻膠。據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)，2021年全球半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模達(dá)24.71億美元，較上年同期增長(zhǎng)19.49%，2015-2021年復(fù)合增長(zhǎng)率為12.03%；2021年中國(guó)大陸半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)規(guī)模達(dá)4.93億美元，較上年同期增長(zhǎng)43.69%，遠(yuǎn)超全球增速。

為什么徐州博康主攻光刻膠？徐州博康董事長(zhǎng)傅志偉表示，一是中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)蓬勃發(fā)展，市場(chǎng)需求帶動(dòng)；二是日本對(duì)韓國(guó)禁售光刻膠事件，提醒了中國(guó)晶圓制造企業(yè)隨時(shí)可能遭遇光刻膠“卡脖子”。日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省在2019年7月1日宣布，將對(duì)用于智能手機(jī)及電視機(jī)的半導(dǎo)體等制造過(guò)程中需要的三種材料加強(qiáng)面向韓國(guó)的出口管制。加強(qiáng)出口管制的是用于半導(dǎo)體清洗的氟化氫、用于智能手機(jī)顯示屏等的氟化聚酰亞胺和涂覆在半導(dǎo)體基板上的感光劑“光刻膠”這三種材料。

徐州博康研發(fā)總監(jiān)潘新剛指出，光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一，是光刻技術(shù)中涉及到最關(guān)鍵的功能性化學(xué)材料，如果說(shuō)集成電路是電子信息發(fā)展的皇冠，那么光刻膠便是皇冠上的明珠。光刻工藝作為芯片制造的關(guān)鍵流程，耗時(shí)占晶圓制造過(guò)程的30-40%，光刻膠在半導(dǎo)體晶圓制造中成本占比僅5%，但四兩撥千斤，是需要被重點(diǎn)關(guān)注的“卡脖子”材料。

相對(duì)于PCB、面板使用的光刻膠，半導(dǎo)體光刻膠壁最高，目前市場(chǎng)以海外企業(yè)為主。高端光刻膠市場(chǎng)高度集中。以ArF光刻膠為例，日本的JSR、信越化學(xué)、東京應(yīng)化、住友化學(xué)四家企業(yè)就占據(jù)了82%的市場(chǎng)份額，KrF光刻膠市場(chǎng)中，東京應(yīng)化、信越化學(xué)、JSR和杜邦占據(jù)了85%的市場(chǎng)份額。

“光刻膠是一種特殊的半導(dǎo)體材料，用于一家晶圓代工廠的一條產(chǎn)線或者多條產(chǎn)線，國(guó)際晶圓大廠傾向于選擇一家質(zhì)量?jī)?yōu)異、產(chǎn)能穩(wěn)定的供應(yīng)商，沒(méi)有第二家做備選，主要考慮更換供應(yīng)商的周期長(zhǎng)。光刻膠是客制化產(chǎn)品，技術(shù)含量高，驗(yàn)證周期通常需要18個(gè)月甚至更長(zhǎng)時(shí)間。” 傅志偉強(qiáng)調(diào)，“此外，光刻膠保質(zhì)期短則三個(gè)月，最長(zhǎng)的只有1年，這意味著廠商不可能大量備貨。所以，光刻膠品類多，行業(yè)壁壘高就成為主要的門檻。”

潘新剛進(jìn)一步分析，制造合格的光刻膠有多重壁壘——技術(shù)壁壘、資金壁壘、客戶壁壘。光刻膠行業(yè)長(zhǎng)年被日本和美國(guó)專業(yè)公司壟斷，其中，日本 JSR、東京應(yīng)化、日本信越與富士電子材料市占率總計(jì)達(dá)到72%。基于光刻膠的極高的行業(yè)壁壘，光刻膠必須從單體到樹脂，到光致產(chǎn)酸劑等各個(gè)方面和建立完整的供應(yīng)體系。

國(guó)產(chǎn)替代突破，徐州博康布局半導(dǎo)體光刻膠兩大關(guān)鍵點(diǎn)

目前國(guó)內(nèi)主流光刻膠企業(yè)已取得一定進(jìn)展，可實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)g線/i線/KrF光刻膠，而ArF光刻膠仍主要處于認(rèn)證或研發(fā)階段。

比較國(guó)內(nèi)其他光刻膠公司，徐州博康的優(yōu)勢(shì)是什么？傅志偉認(rèn)為有三大優(yōu)勢(shì)：一是徐州博康構(gòu)建了光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈模式。國(guó)內(nèi)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈不完整，原料的供應(yīng)商非常少，國(guó)產(chǎn)化替代需要從上游的樹脂、光酸等就要做到供應(yīng)鏈安全的合理把控。徐州博康在2012年成為了國(guó)際光刻膠巨頭JSR（日本合成橡膠公司）唯一非日本本土的單體供應(yīng)商，目前覆蓋80%以上的單體品種，具備全產(chǎn)業(yè)鏈模式的能力。



二是產(chǎn)品布局半導(dǎo)體光刻膠的全品類，目前，徐州博康擁有ArF/KrF光刻膠單體、ArF/KrF光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈全品類等產(chǎn)品，成功開(kāi)發(fā)出20余個(gè)高端光刻膠產(chǎn)品系列，包括多種電子束膠、 ArF干法和浸沒(méi)式光刻膠、KrF正負(fù)型光刻膠、 I線正負(fù)型光刻膠及GHI超厚負(fù)膠，覆蓋IC集成電路制造、IC后段封裝、化合物半導(dǎo)體、分立器件、電子束等市場(chǎng)應(yīng)用，服務(wù)客戶超過(guò)40家。

三是面對(duì)客戶端提供定制化服務(wù)。特別是因?yàn)椴┛稻邆渖嫌螁误w、樹脂等光刻膠原材料，可以快速響應(yīng)客戶新的工藝需求。傅志偉透露，為了應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體客戶的旺盛需求，博康研發(fā)人員也在快速擴(kuò)充，預(yù)計(jì)年底將達(dá)到200人。

傅志偉透露，半導(dǎo)體光刻膠行業(yè)毛利率較高，由于整體市場(chǎng)規(guī)模不大，技術(shù)和資本壁壘高，各細(xì)分領(lǐng)域競(jìng)爭(zhēng)并不激烈。光刻膠作為高端材料其價(jià)格是包含了原材料成本、研發(fā)人力成本及驗(yàn)證測(cè)試成本，驗(yàn)證測(cè)試成本主要指買光刻機(jī)等設(shè)備來(lái)進(jìn)行性能測(cè)試，包含了開(kāi)發(fā)初期的光刻性能測(cè)試及保證量產(chǎn)產(chǎn)品穩(wěn)定供應(yīng)的常規(guī)測(cè)試。最近臺(tái)積電代工漲價(jià)20%，主要原因就是上游光刻膠漲價(jià)造成的。

近期，國(guó)外光刻膠公司的專家認(rèn)為，在中高端光刻膠領(lǐng)域，中國(guó)公司除了研發(fā)出新品外，在純度、精度和可重復(fù)性制造方面還有很大差距。就這一觀點(diǎn)，傅志偉進(jìn)行了反駁。他分析說(shuō)：“十年前，他們這么說(shuō)有一定依據(jù)，但是今天博康已經(jīng)在這個(gè)行業(yè)打磨了十多年，2014年光刻膠已經(jīng)量產(chǎn)發(fā)貨，生產(chǎn)體系也經(jīng)過(guò)7-8年的磨合，光刻膠的批次和穩(wěn)定性都已經(jīng)有了很大的進(jìn)展。” 他強(qiáng)調(diào)，博康現(xiàn)在光刻膠品種30+，今年年底會(huì)發(fā)展到60+，未來(lái)經(jīng)過(guò)3-5年還會(huì)更多的光刻膠品種推出，全品類的光刻膠發(fā)展需要時(shí)間和經(jīng)驗(yàn)。

傅志偉介紹，考慮全產(chǎn)業(yè)鏈布局，光刻膠從建設(shè)到投產(chǎn)周期需要2-3年。博康邳州新廠從2021年下半年開(kāi)始試產(chǎn)，今年1月份正式拿到正式生產(chǎn)許可，產(chǎn)能持續(xù)爬坡。徐州博康的發(fā)展也吸引了產(chǎn)業(yè)資本競(jìng)相追逐。工商信息顯示，去年8月，華為通過(guò)旗下投資公司哈勃科技成為徐州博康第四大股東，持股9.8％。據(jù)媒體報(bào)道，哈勃投資金額達(dá)3億元，系其布局半導(dǎo)體材料領(lǐng)域中最大的一單筆投資。

光刻膠國(guó)產(chǎn)化迫在眉睫。對(duì)于EUV光刻膠等高端產(chǎn)品，傅志偉表示公司時(shí)刻都準(zhǔn)備著，一旦國(guó)內(nèi)有晶圓廠有相關(guān)制程工藝的能力時(shí)，博康一定會(huì)配合做單體和光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)。