來源：佳能集團

通過技術(shù)與數(shù)據(jù)優(yōu)勢，提升光刻機的生產(chǎn)效率

佳能將于2022年9月5日起發(fā)售解決方案平臺“Lithography Plus１”服務(wù)（以下簡稱“Lithography Plus”），該系統(tǒng)匯聚佳能在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域超過50年的技術(shù)積淀，以包括曝光工藝在內(nèi)的海量半導(dǎo)體制造數(shù)據(jù)為支持，在提升設(shè)備維護運轉(zhuǎn)率的同時，能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體制造工藝的優(yōu)化。

佳能陸續(xù)推出了具有高處理性能的KrF光刻機和支持多種設(shè)備的i線光刻機等一系列產(chǎn)品，多年來一直積極地為購置佳能光刻機的客戶提供技術(shù)支持。“Lithography Plus”通過綜合運用技術(shù)經(jīng)驗與數(shù)據(jù)積累，在實現(xiàn)高效維護作業(yè)的同時，提高了光刻機運轉(zhuǎn)率，助力生產(chǎn)效率的提升。

1.為半導(dǎo)體光刻機帶來更高效的運營支持

該系統(tǒng)具有光刻機狀態(tài)分析、定期維護結(jié)果分析和光刻機停止原因分析多種功能。根據(jù)這些數(shù)據(jù)，光刻機操作員可以更輕松地制定部件更換與維護方案，做好光刻機的曝光質(zhì)量控制。此外，該系統(tǒng)的“控制面板（Dash Board）”功能可實現(xiàn)工廠內(nèi)多個光刻機數(shù)據(jù)可視化，進一步提高了操作員維護業(yè)務(wù)的效率。

2.搭載能夠有效提升半導(dǎo)體光刻機運轉(zhuǎn)率的功能

通過“異常檢測”功能，可監(jiān)視光刻機的工作狀態(tài)，檢測發(fā)生的異常及征兆，防止光刻機停止工作。此外，“自動恢復(fù)”功能也有助于故障修復(fù)作業(yè)。作業(yè)無法自動恢復(fù)時，可以通過分析設(shè)備狀態(tài)，提供故障修復(fù)手冊，詳細介紹修復(fù)方法，來確保故障的順利修復(fù)。此外，佳能的專家工程師可以通過遠程客服系統(tǒng)，遠程共享和了解設(shè)備狀態(tài)，詳細解答操作員提出的問題。

3. 工法（Recipe）2優(yōu)化功能助力實現(xiàn)高成品率

該系統(tǒng)搭載的“工藝解決方案”功能匯集了佳能迄今為止積累的光刻機優(yōu)化案例，并對相關(guān)工法（Recipe）進行了優(yōu)化。通過精細對準和線寬控制設(shè)置，可提供自動優(yōu)化后的工法（Recipe），從新型半導(dǎo)體工藝投入初期開始，為實現(xiàn)高成品率3提供支持。此外，該系統(tǒng)還具備與APC4等工藝設(shè)備的接口，可與生產(chǎn)管理系統(tǒng)聯(lián)動運行。

1.產(chǎn)品詳細信息請參閱佳能官網(wǎng)

2.針對不同設(shè)備和制造流程的產(chǎn)品制造要求

3.產(chǎn)品合格率

4.Advanced Process Control : 按批次指示最佳處理條件的機構(gòu)。具有反映上一次加工結(jié)果和顯示上一道工藝結(jié)果預(yù)測值等的功能

〈新產(chǎn)品特征〉

1.為半導(dǎo)體光刻機帶來更高效的運營支持

l “質(zhì)量把控（Quality Control）”功能可通過分析光刻機的狀態(tài)，進行設(shè)備質(zhì)量管理。用戶可以利用該功能實時掌握質(zhì)量下降的征兆和對準精度，提前對性能進行維護。

l “數(shù)據(jù)趨勢監(jiān)測（Data Trend Monitor）”功能可實現(xiàn)設(shè)備傳感器數(shù)據(jù)和測量數(shù)值的可視化，進行經(jīng)時變化、產(chǎn)品設(shè)備依賴性及設(shè)備事件相關(guān)調(diào)查。用戶可以利用該功能輕松地判斷是否做出響應(yīng)，確定響應(yīng)方法和時間等。

l “故障履歷”功能可以顯示設(shè)備停止原因排名，通過該功能可實時掌握需要處理的事項。

l 數(shù)據(jù)可視化“控制面板（Dash Board）”功能可在一個界面上顯示維護作業(yè)所需的數(shù)據(jù)，也可以根據(jù)用戶的角色和用途進行定制。

Dash Board示意圖

2.搭載能夠有效提升半導(dǎo)體光刻機運轉(zhuǎn)率的功能

l “異常檢測”功能，可根據(jù)從半導(dǎo)體光刻機內(nèi)各種傳感器獲得的信息，監(jiān)視光刻機狀況，捕捉異常征兆，提前采取措施，防止設(shè)備停止工作。用戶可根據(jù)檢測結(jié)果采取必要的措施。

l 自動恢復(fù)功能可在設(shè)備停止工作的狀態(tài)下，判斷是否可以恢復(fù)，如果可以恢復(fù)，設(shè)備會自動恢復(fù)運轉(zhuǎn)。例如，發(fā)生地震等災(zāi)害時，可使暫停工作的設(shè)備恢復(fù)到原來的工作狀態(tài)。

l 如果需要人工修復(fù)支持，該系統(tǒng)會根據(jù)設(shè)備停止狀態(tài)顯示有效的修復(fù)步驟實施手冊，為順利修復(fù)提供支持。

部件定位手冊

l 佳能的專家工程師能夠?qū)崟r遠程檢查設(shè)備狀態(tài)，并提供遠程客戶服務(wù)。該系統(tǒng)搭載了從故障預(yù)防到故障發(fā)生后的處理等不同情形下的修復(fù)支持功能，以確保高水準的設(shè)備運轉(zhuǎn)率。

3.加入工法（Recipe）優(yōu)化功能，助力實現(xiàn)高成品率

l 通過對應(yīng)用于不同產(chǎn)品器件、不同工藝的產(chǎn)品制造工法（Recipe）進行自動優(yōu)化，能有助于縮短從產(chǎn)品啟動制造到穩(wěn)定量產(chǎn)的周轉(zhuǎn)時間（TAT5）。該系統(tǒng)搭載的“工藝解決方案”功能，可通過精細對準和線寬控制設(shè)置，自動提供相關(guān)優(yōu)化工法（Recipe），從新型半導(dǎo)體制造投入初期開始，為實現(xiàn)高成品率提供支持。未來，佳能將繼續(xù)提供技術(shù)支持服務(wù)，以幫助客戶解決各種問題。

5. 周轉(zhuǎn)時間。指從試制產(chǎn)品投入到穩(wěn)定量產(chǎn)所需的時間。

l 具備與APC（Advanced Process Control）等工藝設(shè)備的接口，可與生產(chǎn)管理系統(tǒng)聯(lián)動運行。

〈關(guān)于規(guī)格〉

產(chǎn)品規(guī)格詳情，請參閱佳能官網(wǎng)的相關(guān)內(nèi)容。

〈關(guān)于佳能半導(dǎo)體光刻機〉

l 佳能產(chǎn)品矩陣，請參閱佳能官網(wǎng)產(chǎn)品主頁

l 機構(gòu)與技術(shù)：半導(dǎo)體光刻機

<佳能光學設(shè)備（上海）有限公司介紹

佳能光學設(shè)備（上海）有限公司是佳能在中國大陸地區(qū)成立的提供半導(dǎo)體及液晶面板生產(chǎn)設(shè)備營業(yè)輔助業(yè)務(wù)和技術(shù)支持業(yè)務(wù)的公司。所經(jīng)營的產(chǎn)品除了佳能股份有限公司制造的半導(dǎo)體及液晶面板生產(chǎn)用曝光裝置以外，還包括佳能機械公司，佳能安內(nèi)華公司以及佳能特機公司承接的全部半導(dǎo)體及液晶面板生產(chǎn)設(shè)備。

佳能在中國大陸地區(qū)從事半導(dǎo)體及液晶面板生產(chǎn)設(shè)備業(yè)務(wù)的歷史可以追溯到20世紀80年代，當時開始向中國出口半導(dǎo)體曝光裝置（接近式曝光裝置、鏡面投影式曝光裝置）。20世紀90年代又為上海地區(qū)的半導(dǎo)體客戶企業(yè)提供了i線Stepper、等離子除膠設(shè)備、常壓成膜設(shè)備等各類佳能集團制造的半導(dǎo)體設(shè)備。進入21世紀，隨著中國半導(dǎo)體前道工藝的迅速發(fā)展，佳能進一步將KrF Scanner等高端的半導(dǎo)體曝光裝置引進到國內(nèi)。當時，佳能與三井物產(chǎn)集團建立了合作伙伴關(guān)系，進一步擴大了在中國的產(chǎn)品銷售范圍，在中國的液晶面板生產(chǎn)設(shè)備市場也得到了順利的拓展，其中佳能的液晶面板曝光裝置從中國液晶產(chǎn)業(yè)初期開始始終保持著極高的市場占有率。

如今，在半導(dǎo)體、液晶面板以及有機EL板等高科技制造業(yè)領(lǐng)域，佳能正在加快向亞洲生產(chǎn)基地、尤其是向中國市場的投資轉(zhuǎn)移。今后佳能光學設(shè)備（上海）有限公司將作為佳能集團與顧客之間的橋梁，進一步加強對客戶企業(yè)的支持力度，力爭以此實現(xiàn)提高顧客滿意度、擴大事業(yè)規(guī)模的目標。

佳能集團介紹

佳能自1937年開始創(chuàng)業(yè)。秉承“共生”的企業(yè)理念，佳能以創(chuàng)造世界一流產(chǎn)品為奮斗目標，不斷向多元化和全球化發(fā)展。目前，佳能的事業(yè)以光學技術(shù)為核心，涵蓋了辦公產(chǎn)品、影像系統(tǒng)產(chǎn)品、醫(yī)療系統(tǒng)產(chǎn)品以及產(chǎn)業(yè)設(shè)備及其他產(chǎn)品等廣泛領(lǐng)域。位于東京的集團總部與美洲、歐洲、亞洲、大洋洲以及日本的各區(qū)域總部緊密聯(lián)系，構(gòu)筑了全球化與本土化有機結(jié)合的經(jīng)營體制。1996年，佳能啟動了旨在實現(xiàn)以技術(shù)服務(wù)社會，成為全球范圍內(nèi)被信賴、受尊敬的企業(yè)為目標的“全球優(yōu)良企業(yè)集團構(gòu)想”。（數(shù)據(jù)截止至2022年3月）

佳能（中國）有限公司介紹

佳能的中國事業(yè)始于上個世紀70年代。從最初的技術(shù)合作到獨資建廠再到成立銷售公司，經(jīng)歷了多種經(jīng)營模式的探索。1997年3月，佳能（中國）有限公司成立，全面負責佳能在中國市場銷售的各項工作。經(jīng)過多年努力，已基本建成包括華北、華東、華南三大區(qū)域總部在內(nèi)的13個分支機構(gòu)以及展廳、快修中心、快捷服務(wù)站等，形成了覆蓋全國的銷售和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。目前業(yè)務(wù)范圍涉及影像系統(tǒng)產(chǎn)品、辦公產(chǎn)品、產(chǎn)業(yè)設(shè)備以及智能IT解決方案等多個領(lǐng)域，并在不斷拓展符合中國消費者需求的新業(yè)務(wù)。佳能（中國）深深植根于中國市場，致力于成為一家被中國人民所信賴、尊敬的企業(yè)。（數(shù)據(jù)截止至2022年3月）

審核編輯 黃昊宇