在當前的制造業環境中，無人化和自動化已經成為了發展的主流趨勢，加之在半導體制造業中，12寸的晶圓盒尺寸大，重量重，人工長期搬運會對身體有損傷，而且人工搬運也會對產品的良品率造成影響，因此，半導體制造廠需要提升自身的自動化水平。

而天車搬運系統作為半導體制造廠中一種重要的自動搬運系統，已被廣泛應用在半導體制造業中，通過提高物料運輸，降低人力成本和減少污染風險，改善整體的生產流程，提升優化生產工序。

科智立針對半導體天車設備的基本情況，基于RFID技術推出了半導體天車設備的移動定位解決方案與天車設備的貨物自動存取解決方案。

半導體天車移動定位解決方案

即應用物聯網RFID技術，在天車上安裝半導體RFID讀寫器，在行車軌道節點處粘貼RFID標簽。通過RFID讀寫器接收行車軌道站點處的RFID標簽，從而獲得天車的行車位置信息，對天車進行實時的位置動態監測，并根據自身所在的位置進行線路規劃與調度，確保天車的作業安全距離與運輸效率。半導體RFID讀寫器還可與天車的控制系統相結合，能夠有效地解決天車的防碰撞問題，實現天車地自動化作業安全，同步提升安全和生產效率。

半導體天車貨物自動存取解決方案

FOUP晶圓盒上安裝TI載碼體標簽，標簽內錄入著晶圓芯片的所有信息，如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等。當天車搬運FOUP晶圓盒時，半導體RFID讀寫器接收來自TI載碼體標簽的相關信息，確保所搬運的FOUP晶圓盒是準確。在行駛到相應的存儲/放置位置時，半導體RFID讀寫器再次識別目的地的標簽信息，并將符合的信息的FOUP晶圓盒放到相應的位置，同時將拿取到放置時所有的信息上傳到管理系統處，若是產品有瑕疵等不良品的出現，可依據這些數據進行產品生產運輸過程的溯源，幫助快速定位到問題點上。

RFID技術在半導體天車上的優勢

高適應性：全天候穩定運行，不受工業生產惡劣環境的影響；

安裝簡單：無需更改現場的設備布置，不會影響到現場的整體外觀；

易于維護：不存在機械接觸、磨損、滑動等問題，使用壽命較長；

提升效率：自動識別并上傳目標信息，減少人工獲取、上傳數據的步驟，提升工作效率；

降本增效：提升了自動化程度，減少了人力的投入，降低了生產成本。

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審核編輯 黃宇