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陸芯精密劃片機:IC晶圓劃片的封裝工藝流程

博捷芯半導體 ? 2022-05-12 14:50 ? 次閱讀

集成電路電子管到超大規模集成電路的方向發展,IC集成度越高,伴隨對封裝技術的要求也是越發的精細化。劃片機是IC封裝生產過程中的關鍵設備之一,用于將含有很多芯片的晶圓切割成一個個晶片顆粒,其切割加工能力一定程度上決定了芯片封裝的成品率與性能。IC晶圓,一般由硅(Si)構成,分為6英寸、8英寸、12英寸規格不等,晶片就是基于wafer制造而成。IC需要將Wafer上的一個子單元即一個晶片顆粒從晶圓體上分割得到。

IC封裝簡介

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FOL– Front of Line前段工藝

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必不可少的工藝流程

通過流程可以看出,Wafer并非成品IC芯片,需要經過一系列復雜工藝流程去完成,切割是必須工藝。

一直以來,相關領域都由國外壟斷,對中國半導體行業進行技術封鎖,由于市場的需求,經過行業的不斷努力,國產Wafer設備已經有很大進步,陸芯的產品現已完全可以替代進口設備。國產化的需求缺口在增大,市場藍海屬于掌握核心技術的團隊。

Wafer Saw晶圓切割

將晶圓粘貼在藍膜(Mylar)上,使得即使被切割開后,不會散落;

通過Saw Blade將整片Wafer切割成一個個獨立的Dice,方便后面的 Die Attach等工序;

Wafer Wash主要清洗Saw時候產生的各種粉塵,清潔Wafer;

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