激光干涉儀與光刻機的緣分
光刻機是集成電路生產的關鍵設備之一，在整個生產過程中占據重要的地位。高精度的工作臺作為光刻機核心部件之一，其運動性能和定位精度決定了光刻工藝所能實現的線寬和產率。
光刻機的工作臺是一個六自由度的運動臺，其中X/Y向運動臺是的核心基礎工序。管控XY軸角度Yaw和Pitch，直線度Horizontal Straightness和Vertical Straightness是獲得XY線性（重復）精度（Linear Positioning）的關鍵，是后續實現六自由度的控制的基石，是多層曝光對準精度的源頭。
本次利用SJ6000激光干涉儀檢測一臺光刻機XY軸的角擺和直線度，部分結果如下：
Y軸Vertical Straightness測量
X軸Pitch測量
X軸測量軸長225mm，其中垂直直線度測得結果0.58μm。
Y軸測量軸長600mm，測得角度Yaw結果0.86″。
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
激光干涉儀
+關注
關注
0文章
79瀏覽量
8314
發布評論請先 登錄
相關推薦
熱點推薦
改善光刻圖形線寬變化的方法及白光干涉儀在光刻圖形的測量
引言 在半導體制造與微納加工領域，光刻圖形線寬變化直接影響器件性能與集成度。精確控制光刻圖形線寬是保障工藝精度的關鍵。本文將介紹改善光刻圖形線寬變化的方法，并探討白光干涉儀在
VirtualLab Fusion：用于光學檢測的斐索干涉儀
摘要
斐索干涉儀是工業上常見的光學計量設備，通常用于高精度測試光學表面的質量。在VirtualLab Fusion中通道配置的幫助下，我們建立了一個Fizeau干涉儀，并將其用于測試不同的光學表面
發表于 05-28 08:48
Aigtek電壓放大器在光纖干涉儀噪聲抑制研究中的應用
實驗名稱： 基于光纖干涉儀的低頻段頻率噪聲抑制研究 實驗內容： 光纖干涉儀作為一種可以精細鑒別激光相位的結構裝置，被廣泛地應用于激光相位噪聲的測試測量工作。運用逆向思維，利用光纖
FRED應用：天文光干涉儀
簡介
天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑。現如今，恒星
發表于 04-29 08:52
安泰電壓放大器在相位調制零差干涉儀性能評價實驗中的應用
設備： ATA-2088高壓放大器、納米定位平臺、單頻激光干涉儀、光電探測器、Redpitaya信號處理板等。 實驗過程： 圖1：相位調制零差干涉儀實物圖 相位調制零差干涉儀組裝調試主
白光干涉儀的光譜干涉模式原理
白光干涉儀的光譜干涉模式原理主要基于光的干涉和光譜分析。以下是對該原理的詳細解釋：
一、基本原理
白光干涉儀利用干涉原理測量光程之差，從而測
FRED案例：天文光干涉儀
簡介
天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑?，F如今，恒星
發表于 01-21 09:58
光刻機的分類與原理
本文主要介紹光刻機的分類與原理。 ? 光刻機分類 光刻機的分類方式很多。按半導體制造工序分類，光刻設備有前道和后道之分。前道光刻機包括芯片
用于光學測量的菲索干涉儀
摘要
斐索干涉儀是工業中常見的光學計量設備，它們通常用于光學表面質量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構建了一個菲索干涉儀，并利用它測試了不同的光學表面，例如
發表于 12-26 10:18
天文光干涉儀
簡介 天文光干涉儀能夠實現恒星和星系的高角分辨率的測量。首次搭建的天文光干涉儀分別由菲索（1868）和邁克爾遜（1890）提出。邁克爾遜恒星干涉儀于1920年成功地測出參宿四的直徑?，F如今，恒星
發表于 12-25 15:26
激光干涉儀是如何測量位移的？
激光干涉儀是一種廣泛應用于科學研究、工業制造和精密測量領域的儀器。在科學研究領域，激光干涉儀廣泛應用于物理學、化學和生物學等多個學科，為研究人員提供了強大的工具。在工業制造中，
工商網監
評論