矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的誤差來源主要有以下三個方面：漂移誤差、隨機(jī)誤差、系統(tǒng)誤差
1、漂移誤差：是由于進(jìn)行校準(zhǔn)之后儀器或測試系統(tǒng)性能發(fā)生變化所引起，主要由溫度變化造成。
2、隨機(jī)誤差：是不可預(yù)測的且不能通過校準(zhǔn)予以消除，主要隨時間隨機(jī)變化。然而，有若干可以將其對測量精度的影響減至最小的方法。
隨機(jī)誤差的三個主要來源：
<1>儀器噪聲誤差：是分析儀元件中產(chǎn)生的不希望的電擾動。這些擾動包括由于接收機(jī)的寬帶本底噪聲引起的低電平噪聲；由于測試裝置內(nèi)部本振源的本底噪聲和相位噪聲引起的高電平噪聲或跡線數(shù)據(jù)抖動。
<2>開關(guān)重復(fù)性誤差：分析儀中使用了用來轉(zhuǎn)換源衰減器設(shè)置的機(jī)械射頻開關(guān)，有時機(jī)械射頻開關(guān)動作時，觸點(diǎn)的閉合不同于其上次動作的閉合。在分析儀你內(nèi)部出現(xiàn)這種情況時，便會嚴(yán)重影響測量的精度。
<3>連接器重復(fù)性誤差：是由于連接器的磨損會改變電性能。

3、系統(tǒng)誤差：
系統(tǒng)誤差是由矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和測試裝置中的不完善性所引起，是重復(fù)誤差（因而可以預(yù)測），且假定不隨時間變化。系統(tǒng)誤差中的各項誤差都是矢量，一旦其矢量特征（幅度和相位）已知，這些誤差可以通過數(shù)學(xué)運(yùn)算從原始的測量中減去。利用校準(zhǔn)件可以達(dá)到減小誤差的目的。
<1>反射測量產(chǎn)生下列三項系統(tǒng)誤差：方向性、源匹配、頻率響應(yīng)反射跟蹤。
<2>傳輸測量產(chǎn)生下列三項系統(tǒng)誤差：隔離、負(fù)載匹配、頻率響應(yīng)傳輸跟蹤。