在當(dāng)前的制造業(yè)環(huán)境中，無(wú)人化和自動(dòng)化已經(jīng)成為了發(fā)展的主流趨勢(shì)，加之在半導(dǎo)體制造業(yè)中，12寸的晶圓盒尺寸大，重量重，人工長(zhǎng)期搬運(yùn)會(huì)對(duì)身體有損傷，而且人工搬運(yùn)也會(huì)對(duì)產(chǎn)品的良品率造成影響，因此，半導(dǎo)體制造廠需要提升自身的自動(dòng)化水平。

而天車(chē)搬運(yùn)系統(tǒng)作為半導(dǎo)體制造廠中一種重要的自動(dòng)搬運(yùn)系統(tǒng)，已被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)中，通過(guò)提高物料運(yùn)輸，降低人力成本和減少污染風(fēng)險(xiǎn)，改善整體的生產(chǎn)流程，提升優(yōu)化生產(chǎn)工序。

科智立針對(duì)半導(dǎo)體天車(chē)設(shè)備的基本情況，基于RFID技術(shù)推出了半導(dǎo)體天車(chē)設(shè)備的移動(dòng)定位解決方案與天車(chē)設(shè)備的貨物自動(dòng)存取解決方案。

半導(dǎo)體天車(chē)移動(dòng)定位解決方案

即應(yīng)用物聯(lián)網(wǎng)RFID技術(shù)，在天車(chē)上安裝半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器，在行車(chē)軌道節(jié)點(diǎn)處粘貼RFID標(biāo)簽。通過(guò)RFID讀寫(xiě)器接收行車(chē)軌道站點(diǎn)處的RFID標(biāo)簽，從而獲得天車(chē)的行車(chē)位置信息，對(duì)天車(chē)進(jìn)行實(shí)時(shí)的位置動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)，并根據(jù)自身所在的位置進(jìn)行線路規(guī)劃與調(diào)度，確保天車(chē)的作業(yè)安全距離與運(yùn)輸效率。半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器還可與天車(chē)的控制系統(tǒng)相結(jié)合，能夠有效地解決天車(chē)的防碰撞問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)天車(chē)地自動(dòng)化作業(yè)安全，同步提升安全和生產(chǎn)效率。

半導(dǎo)體天車(chē)貨物自動(dòng)存取解決方案

FOUP晶圓盒上安裝TI載碼體標(biāo)簽，標(biāo)簽內(nèi)錄入著晶圓芯片的所有信息，如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等。當(dāng)天車(chē)搬運(yùn)FOUP晶圓盒時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器接收來(lái)自TI載碼體標(biāo)簽的相關(guān)信息，確保所搬運(yùn)的FOUP晶圓盒是準(zhǔn)確。在行駛到相應(yīng)的存儲(chǔ)/放置位置時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器再次識(shí)別目的地的標(biāo)簽信息，并將符合的信息的FOUP晶圓盒放到相應(yīng)的位置，同時(shí)將拿取到放置時(shí)所有的信息上傳到管理系統(tǒng)處，若是產(chǎn)品有瑕疵等不良品的出現(xiàn)，可依據(jù)這些數(shù)據(jù)進(jìn)行產(chǎn)品生產(chǎn)運(yùn)輸過(guò)程的溯源，幫助快速定位到問(wèn)題點(diǎn)上。

RFID技術(shù)在半導(dǎo)體天車(chē)上的優(yōu)勢(shì)

高適應(yīng)性：全天候穩(wěn)定運(yùn)行，不受工業(yè)生產(chǎn)惡劣環(huán)境的影響；

安裝簡(jiǎn)單：無(wú)需更改現(xiàn)場(chǎng)的設(shè)備布置，不會(huì)影響到現(xiàn)場(chǎng)的整體外觀；

易于維護(hù)：不存在機(jī)械接觸、磨損、滑動(dòng)等問(wèn)題，使用壽命較長(zhǎng)；

提升效率：自動(dòng)識(shí)別并上傳目標(biāo)信息，減少人工獲取、上傳數(shù)據(jù)的步驟，提升工作效率；

降本增效：提升了自動(dòng)化程度，減少了人力的投入，降低了生產(chǎn)成本。

為禁許可，禁止轉(zhuǎn)載，違者必究?。?！

審核編輯 黃宇