日本佳能公司10月13日宣布,將推出fpa-1200nz2c納米印花(nil)半導體制造設備。該設備執行電路模式傳送,這是最重要的半導體制造工程。
據佳能介紹,傳統的光刻設備將電路圖案投射到涂有防腐劑的晶片上,而新產品就像郵票一樣,在晶片上印上印有電路圖案的掩模來實現這一目標。由于電路圖案的傳遞過程不經過光學結構,因此可以在晶片上準確再現掩模的細微電路圖案。
目前佳能的nil技術將對應5納米節點邏輯半導體的模式的最小線幅設定為14納米。此外,隨著掩模技術的發展,nil將提供10納米的最小圖案寬度,相當于2納米節點。
5納米芯片制造設備業界由asml主導,因此佳能的納米打印方式將縮小其差距。
有報道稱,佳能的裝備也可能成為中美競爭的新戰線。美國禁止向中國出口euv設備。這是目前為止能夠制造出5納米或更小芯片的唯一可靠方法。
佳能的技術完全超越了光刻技術,可以將必要的電路圖案印刷到硅晶片上。由于它的新穎性,現有的貿易限制不太可能明確禁止它。
佳能發言人拒絕評論新設備是否會受到日本的出口限制。
據悉,納米壓力機(nano press)是SK海力士和東芝作為光學光刻的低費用替代方案推進的,東芝的前存儲器事業部負責人在納米壓力機商用化之前,曾對佳能的納米壓力機進行過測試。
佳能在2014年收購了納米印花的先驅molecular imprints inc.對該技術進行了近10年的研究。佳能還以2025年啟動為目標,20年來首次在東京北部的宇都宮市建設照相設備新工廠。
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