據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道，泛林集團(tuán)（Lam Research，納斯達(dá)克股票代碼：LRCX）近日宣布推出全球首款面向量產(chǎn)的脈沖激光沉積（PLD）機(jī)臺(tái)，以賦能基于MEMS的下一代麥克風(fēng)和射頻（RF）濾波器。Lam Research的Pulsus PLD系統(tǒng)可提供鈧含量最高的摻鈧氮化鋁（AlScN）薄膜。這為具有更高性能和功能的先進(jìn)消費(fèi)類(lèi)和汽車(chē)器件鋪平了道路。Pulsus現(xiàn)已開(kāi)始向部分特種MEMS器件制造商發(fā)貨。

Pulsus PLD的發(fā)布，進(jìn)一步擴(kuò)大了Lam Research專(zhuān)注于特種技術(shù)沉積、蝕刻和單晶圓清洗產(chǎn)品的全面組合，并證明了Lam Research在該領(lǐng)域的持續(xù)創(chuàng)新。

Lam Research副總裁兼客戶(hù)支持業(yè)務(wù)部總經(jīng)理Chris Carter表示：“Lam Research利用在特種半導(dǎo)體技術(shù)方面的深厚專(zhuān)業(yè)知識(shí)、成熟的沉積能力以及與CEA-Leti的戰(zhàn)略合作，在我們經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的2300平臺(tái)上，為客戶(hù)帶來(lái)了這一突破性解決方案。這種新的沉積技術(shù)有助于推進(jìn)MEMS器件設(shè)計(jì)，加快特種技術(shù)市場(chǎng)的產(chǎn)品路線(xiàn)圖。”

尖端壓電薄膜驅(qū)動(dòng)高性能MEMS器件

射頻濾波器在5G、WiFi 6和WiFi 6E性能方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，其不僅能增加通信網(wǎng)絡(luò)可處理的頻段數(shù)量，還能改善用戶(hù)體驗(yàn)。MEMS麥克風(fēng)因其高信噪比而備受推崇，即使是低沉的聲音也能準(zhǔn)確捕捉，這對(duì)于5G設(shè)備中的語(yǔ)音控制和降噪功能至關(guān)重要。

Pulsus采用突破性技術(shù)沉積高質(zhì)量薄膜，以?xún)?yōu)化射頻濾波器和MEMS麥克風(fēng)。薄膜中的鈧含量越高，器件的性能越好。Pulsus提供的薄膜至少含有40%的鈧，這是目前最高的鈧含量。這些薄膜具有低介電損耗，壓電系數(shù)兩倍于目前的濺射薄膜，優(yōu)化了電氣轉(zhuǎn)換，從而提高了射頻濾波器的靈敏度和MEMS麥克風(fēng)的性能。此外，壓電品質(zhì)的提高使得用無(wú)鉛AlScN替代鋯鈦酸鉛（PZT）成為可能。

Pulsus PLD工藝

在Pulsus PLD工藝中，使用強(qiáng)激光脈沖來(lái)沖擊目標(biāo)材料。目標(biāo)材料被氣化，形成穩(wěn)定、致密的等離子體羽流，然后薄層沉積到晶圓上。該工藝對(duì)于實(shí)現(xiàn)厚度和應(yīng)力需要精確控制的高質(zhì)量、均勻薄膜至關(guān)重要。Pulsus代表了激光首次用于大批量生產(chǎn)中的薄膜沉積。

Pulsus為特種技術(shù)提供獨(dú)特優(yōu)勢(shì)

“用于制造MEMS器件的設(shè)備需求在2023年增長(zhǎng)到了9.4億美元以上，而且，隨著芯片制造商找到提高器件性能的新方法，這種需求還將繼續(xù)增長(zhǎng)。Pulsus卓越的薄膜質(zhì)量對(duì)于需要強(qiáng)大壓電性能的5G應(yīng)用具有巨大價(jià)值。”Yole制造和全球供應(yīng)鏈副總監(jiān)John West說(shuō)，“Pulsus是一種創(chuàng)新解決方案，可以幫助優(yōu)化目前的特種器件，并推進(jìn)未來(lái)各種應(yīng)用的技術(shù)路線(xiàn)圖。”

Pulsus PLD確保了卓越的薄膜均勻性和質(zhì)量，而單晶圓成本僅為傳統(tǒng)沉積方法的一小部分。這種效率可幫助芯片制造商提高良率，加快產(chǎn)品路線(xiàn)圖。

除了AlScN，Pulsus還能沉積其它方法無(wú)法應(yīng)用的各種復(fù)雜多元素材料。Lam Research正在探索新材料，以滿(mǎn)足特種技術(shù)市場(chǎng)對(duì)AR/VR和量子計(jì)算等應(yīng)用的需求。

“Pulsus PLD系統(tǒng)的獨(dú)特之處在于它能夠沉積包括AlScN在內(nèi)的多種材料，并具有出色的薄膜特性。”CEA-Leti投資與供應(yīng)商合作組組長(zhǎng)Sothachett Van說(shuō)，“我們很高興看到這項(xiàng)技術(shù)成熟起來(lái)，成為壓電MEMS器件的批量制造解決方案。”

審核編輯：劉清