北方華創(chuàng)微電子發(fā)布專利：承載裝置與半導(dǎo)體工藝設(shè)備
中國企業(yè)北京北方華創(chuàng)微電子裝備公布“承載裝置及半導(dǎo)體工藝設(shè)備”發(fā)明專利（專利號：CN117987807A），申請日為2024年5月7日。該專利提供了一種新型承載裝置和配套半導(dǎo)體工藝設(shè)備， 應(yīng)用在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。
此項(xiàng)新實(shí)用新型的承載裝置主要由承載件、第一氣道和限位組件組成。承載件設(shè)有晶圓容納槽，底部為承載面，第一氣道的出氣口設(shè)在此面上，用于通氣使晶圓保持懸浮狀態(tài)。同時，承載件邊緣設(shè)置有多個滑道，環(huán)繞著容納槽排列，內(nèi)部還設(shè)有多個第二氣道，與滑道相連。而限位組件則包含多個與晶圓外緣周面接觸的限位件，這些限位件可以沿著滑道滑動，通過控制第二氣道的氣流方向來調(diào)整其位置。
此外，該專利還提出了一種配套的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，其中就包括了上述承載裝置。這種設(shè)計(jì)能有效解決因托盤與晶圓間間隙不均導(dǎo)致的晶圓膜厚不均等問題。
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
晶圓
+關(guān)注
關(guān)注
52文章
5076瀏覽量
128977 -
半導(dǎo)體技術(shù)
+關(guān)注
關(guān)注
3文章
241瀏覽量
61095
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
新凱來炸場，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備迭代，加速破解先進(jìn)工藝
的SEMICON China 大會上，新凱來展臺現(xiàn)場火爆全場成為一道風(fēng)景，北方華創(chuàng)、中微公司相繼發(fā)布新品，國產(chǎn)半導(dǎo)體
半導(dǎo)體企業(yè)2024年業(yè)績預(yù)告：AI落地引行業(yè)變革，海光信息、北方華創(chuàng)凈利潤飆漲5成
新興產(chǎn)業(yè)也迎來快速發(fā)展。 ? 那么，半導(dǎo)體企業(yè)在2024年的發(fā)展情況如何呢？電子發(fā)燒友網(wǎng)整理了北方華創(chuàng)、甬矽
北方華創(chuàng)躍居全球半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商第六位
。 不過，北方華創(chuàng)憑借其在刻蝕、薄膜沉積和清洗設(shè)備方面的專業(yè)技能，其全球排名從第十位升至第六位。 2024年半導(dǎo)體
半導(dǎo)體設(shè)備為什么要安裝防震裝置？
半導(dǎo)體設(shè)備安裝防震裝置主要有以下幾方面原因：一、高精度加工要求1,光刻工藝(1)光刻是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟，其精度要求極高。例如，在芯片制造
半導(dǎo)體新建項(xiàng)目潔凈室工藝設(shè)備泊蘇防微振平臺施工流程
半導(dǎo)體新建項(xiàng)目潔凈室工藝設(shè)備泊蘇防微振平臺施工流程1．引言近年來高科技產(chǎn)業(yè)在國內(nèi)經(jīng)濟(jì)發(fā)展上有著舉足輕重的作用，半導(dǎo)體晶片、TFT-LCD平面顯示等大型的廠房也在國內(nèi)不斷的興建，規(guī)模也在不斷的擴(kuò)大
國產(chǎn)半導(dǎo)體展望:中微、盛美、北方華創(chuàng)引領(lǐng)國產(chǎn)化加速
近日，中微公司、盛美上海、北方華創(chuàng)這三大國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)相繼發(fā)布了2024年財(cái)報預(yù)測及最新
華進(jìn)半導(dǎo)體榮獲中國專利優(yōu)秀獎
近日，國家知識產(chǎn)權(quán)局正式發(fā)布第二十五屆中國專利獎評選通知，華進(jìn)半導(dǎo)體一項(xiàng)名為“CN202010426007.5一種晶圓級芯片結(jié)構(gòu)多芯片堆疊互連結(jié)構(gòu)及制備方法”的
中國半導(dǎo)體專利申請激增，萬年芯134項(xiàng)專利深耕行業(yè)
，及外界對中國微電子行業(yè)施加重大限制的背景下，半導(dǎo)體專利逆向增長的趨勢體現(xiàn)了我國科技實(shí)力的提升，其中萬年芯微電子擁有134項(xiàng)國內(nèi)專利，成為國內(nèi)半導(dǎo)體
北方華創(chuàng)自研射頻電源批量應(yīng)用于多款產(chǎn)品
近日，北方華創(chuàng)在互動平臺宣布了一項(xiàng)重要進(jìn)展：公司自主研發(fā)的射頻電源已成功批量應(yīng)用于多款產(chǎn)品中，標(biāo)志著其在半導(dǎo)體核心部件國產(chǎn)化道路上邁出了堅(jiān)實(shí)的一步。隨著國內(nèi)零部件供應(yīng)商能力的顯著提升，
京東方華燦珠海Micro LED項(xiàng)目成功搬入工藝設(shè)備
近日，京東方華燦光電珠海MicroLED晶圓制造和封裝測試基地項(xiàng)目工藝設(shè)備搬入儀式在珠海市金灣區(qū)隆重舉行。這一標(biāo)志性活動不僅標(biāo)志著項(xiàng)目向著點(diǎn)亮投產(chǎn)邁出了關(guān)鍵的一步，更是彰顯了公司在科技創(chuàng)新領(lǐng)域的不懈追求。
北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司獲半導(dǎo)體加工腔室專利
此項(xiàng)發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體加工腔室，主要由腔體、可升降的基座以及內(nèi)襯組件構(gòu)成。內(nèi)襯組件包含上內(nèi)襯及下內(nèi)襯，上內(nèi)襯環(huán)繞腔體側(cè)壁，下內(nèi)襯則固定在外周基座上，并設(shè)有導(dǎo)氣通道，通道包括第一環(huán)形通氣口和第二環(huán)形通氣口，第二環(huán)形通氣口直徑較小。
北方華創(chuàng)微電子裝備公司取得一項(xiàng)溫度控制專利
本發(fā)明涉及一種用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的溫度控制裝置和方法，具體包含第一溫控源、第二溫控源、第一輸出管道、第二輸出管道、第一回流管道、第二回流管道、第一短路管道、第二短路管道以及控制器等部件。
北方華創(chuàng)微電子獲加熱器及設(shè)備專利
這項(xiàng)申請致力于提供一種半導(dǎo)體設(shè)備的新型加熱器及其適用范圍，包括了加熱盤和第一冷卻元件兩個關(guān)鍵部件。其中，加熱盤被設(shè)計(jì)成可放置在半導(dǎo)體設(shè)備的腔體內(nèi)，其底部設(shè)有開口，使第一空腔能夠與外部空
北方華創(chuàng)微電子：晶圓清洗設(shè)備及晶圓定位裝置專利
該發(fā)明涉及一種晶圓清洗設(shè)備及晶圓定位裝置、定位方法。其中，晶圓定位裝置主要用于帶有定位部的晶圓定位，其結(jié)構(gòu)包括密封腔體、密封蓋、承載組件、定位組件和導(dǎo)向組件。
北方華創(chuàng)公開“半導(dǎo)體設(shè)備及磁控管組件”專利
該發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域，提出的磁控管組件包括至少兩個滑槽，滑槽兩端分別位于兩個不同直徑的圓周上，并與轉(zhuǎn)盤徑向呈一定夾角。每個滑槽內(nèi)置有一個或者多個磁控管或配重，在滑槽中隨轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)而自由移動。
工商網(wǎng)監(jiān)
評論