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劃片機在Micro-LED芯片封裝中的應用與技術革新

博捷芯半導體 ? 2025-02-11 17:10 ? 次閱讀

隨著Micro-LED顯示技術向更小尺寸、更高集成度發展,其制造工藝對精密度和效率的要求日益嚴苛。劃片機作為半導體制造中的關鍵設備,在Micro-LED芯片封裝中扮演著核心角色。本文結合行業動態與技術進展,探討劃片機在Micro-LED領域的應用現狀及未來趨勢。

一、Micro-LED封裝的核心挑戰與劃片機的技術定位

Micro-LED芯片的特征尺寸通常在100微米以下,甚至達到0.1-10微米級別,其封裝需解決微型化帶來的切割精度、良率及可靠性問題。傳統半自動砂輪切割設備因人工操作誤差大、效率低,已難以滿足需求,而全自動精密劃片機通過高精度切割技術(線寬精度達幾十微米)和智能化控制,成為提升封裝效率的核心設備。

關鍵技術突破:

1. 砂輪切割工藝優化:采用高速旋轉砂輪結合光學檢測系統,確保切割位置精度小于10μm,同時通過冷卻系統減少熱損傷和微裂紋。

2. 晶圓級封裝支持:劃片機在晶圓切割階段即實現圖形化壩體結構(如圍合顯示區的第一壩體)的精準分離,避免后續封裝錯位,提升良率。

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二、劃片機在Micro-LED封裝中的具體應用場景

1. 晶圓切割與芯片分離

Micro-LED晶圓經光刻、蝕刻等前端工藝后,需通過劃片機沿切割道分割成獨立芯片。全自動劃片機可處理硅、砷化鎵等多種材料,切割寬度低至幾十微米,滿足消費電子對芯片輕薄化的需求。

2. 復雜封裝結構的實現

在圖形化壩體封裝技術中,劃片機需精確切割透明蓋板與壩體間的空腔結構區域,確保光學性能(如光取出效率)和機械穩定性。例如,透明膠層與壩體的對位貼合需依賴高精度切割參數控制。

3. 多場景適應性

車載顯示:劃片機通過穩定的切割性能,保障芯片在高溫、震動環境下的可靠性。

可穿戴設備:微型化切割支持高密度像素排列,如PM驅動玻璃基Micro-LED的制備。

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三、行業技術趨勢與國產化進程

1. 新型切割工藝與材料創新

韓國ETRI團隊開發的非導電薄膜(NCF)技術,將封裝步驟從九步簡化為三步,結合劃片機的高效切割,顯著降低生產功耗和成本。此外,氧化物緩沖層(如0CRL/0CRD工藝)的引入進一步優化了芯片與基板的附著力。

2. 國產設備崛起

國內企業博捷芯BJCORE推出的全自動精密劃片機,通過集成光學檢測和智能控制系統,實現切割精度與效率的雙提升,推動Mini/Micro-LED產業鏈國產化。

3. 產業協同發展

中國Micro-LED戰略聯盟的成立(含雷曼光電、三安半導體等33家成員),加速了“產學研用”資源整合。深天馬A等企業計劃在2025年底實現Micro-LED產線的小批量生產,劃片機技術將成為規模化落地的關鍵支撐。

四、未來展望

隨著Micro-LED向AR/VR、超大屏顯示等領域滲透,劃片機需進一步突破以下方向:

超精密切割:應對0.1微米級LED單元的間距控制需求。

智能化升級:AI算法實時調整切割參數,減少人工干預。

綠色制造:開發低能耗切割工藝,適配碳中和目標。

劃片機作為Micro-LED封裝的核心裝備,其技術進步直接決定了產業的規模化與商業化進程。從砂輪切割到晶圓級封裝,從國產化突破到全球協作,劃片機的創新應用正推動Micro-LED技術邁向更廣闊的未來。


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