真空機器人是一種在真空環境下工作的機器人，主要應用于半導體工業中，實現晶圓在真空腔室內的傳輸。真空機械手難進口、受限制、用量大、通用性強，其成為制約了半導體裝備整機的研發進度和整機產品競爭力的關鍵部件。

通常機器人的關節可以分為旋轉關節和直線關節，但具體到真空環境中，可能有一些特殊的設計。比如，在真空環境下，潤滑和材料的選擇非常重要，因為傳統潤滑油可能會揮發，污染真空環境。此外，驅動方式也可能不同，比如使用無塵電機或者磁力驅動來避免產生顆粒。還需要考慮冗余設計，特別是在空間應用中，可靠性至關重要。所以關節可能具備冗余驅動或傳感器，以提高系統的可靠性。
Akribis的直驅無刷無框電機，能夠滿足真空環境下使用，由轉子和定子組成高扭矩密度，用于機器人關節位置更加靈活、確切的運動，具有更好的控制精度。采用優化的磁路設計，實現更低的齒槽力，運行更加平穩。提供完整的型號可供選擇，可以按照客戶需求定制，憑借專業的直驅電機研發技術團隊，可以為客戶定制化開發解決方案。 真空機器人關節的設計是材料科學、精密機械和真空技術的綜合體現，需在精度、可靠性和環境適應性間取得平衡。

審核編輯 黃宇