引言

在半導體制造與微納加工行業，光刻膠剝離液的使用量龐大。傳統剝離液存在環境污染、資源消耗等問題，可再生光刻膠剝離液憑借環保與可持續優勢成為研究熱點。同時，白光干涉儀在光刻圖形測量中的應用，為保障工藝質量提供了關鍵技術支撐。

可再生光刻膠剝離液及其制備方法

常見可再生光刻膠剝離液類型

生物基剝離液

生物基剝離液以生物質為原料，如植物提取物、發酵產物等。其主要成分包含有機酸、醇類等天然物質，這些物質能夠與光刻膠發生物理或化學反應，實現光刻膠的有效剝離。例如，利用檸檬酸等有機酸的絡合能力，破壞光刻膠分子結構；以生物乙醇作為溶劑，增強對光刻膠的溶解性能。生物基剝離液具有來源廣泛、可生物降解的特點，極大降低了對環境的污染 。

可回收型剝離液

可回收型剝離液通過特殊的分離技術，在使用后能夠將其中的有效成分回收再利用。常見的回收方法包括蒸餾、萃取等。以含有特定有機溶劑的剝離液為例，使用后可通過蒸餾的方式，依據各成分沸點差異，將有機溶劑分離提純，重新用于剝離液的配制。這種剝離液減少了原材料的消耗，降低了生產成本，同時也減少了廢棄物的產生。

可再生光刻膠剝離液制備要點

制備生物基剝離液時，需對生物質原料進行預處理，如提取、發酵優化等，以提高有效成分的含量和活性。在成分復配階段，要精確控制有機酸、溶劑、助劑等的比例，確保剝離液對不同類型光刻膠的剝離效果。對于可回收型剝離液，制備過程中需考慮后續回收工藝的適配性，選擇合適的溶劑和添加劑，保證回收過程簡單高效且不影響剝離液性能。此外，無論哪種類型，都要對剝離液的穩定性、腐蝕性等性能進行嚴格測試和優化，通過調整配方和工藝參數，使剝離液滿足工業生產需求。

白光干涉儀在光刻圖形測量中的應用

測量原理

白光干涉儀基于光的干涉特性，將白光光源發出的光經分光鏡分為測量光和參考光。測量光照射到待測光刻圖形表面反射回來，與參考光相遇產生干涉條紋。由于光刻圖形不同位置的高度差異，導致反射光的光程差不同，進而形成不同的干涉條紋圖案。通過分析干涉條紋的形狀、間距和強度等信息，結合光程差與表面高度的對應關系，可精確計算出光刻圖形的高度、深度、線寬等參數。

測量優勢

白光干涉儀具備高精度、非接觸式測量的特點，其測量精度可達納米級別，能夠精準捕捉光刻圖形細微的尺寸變化。非接觸測量避免了對脆弱光刻圖形的物理損傷，保證了樣品的完整性。同時，測量速度快，可實現實時在線檢測，并能通過專業軟件對測量數據進行可視化處理，直觀呈現光刻圖形的形貌特征，便于工藝優化和質量控制。

實際應用

在使用可再生光刻膠剝離液的工藝中，白光干涉儀發揮著重要作用。剝離前，可測量光刻膠的厚度、光刻圖形的初始形貌，評估光刻工藝的質量；剝離過程中，實時監測光刻膠的去除情況，判斷剝離進程是否正常；剝離完成后，精確測量殘留光刻膠的厚度、基片表面的粗糙度以及光刻圖形的最終尺寸，為優化可再生剝離液配方和剝離工藝提供準確的數據支持，確保產品符合設計要求 。

一款可以“實時”動態/靜態 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統白光干涉操作復雜的問題，實現一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現卓越的重復性表現。

2)系統集成CST連續掃描技術，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統，實現實現“動態”3D輪廓測量。

實際案例

（以上為新啟航實測樣品數據結果）

1，優于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

（以上為新啟航實測樣品數據結果）

2，毫米級視野，實現5nm-有機油膜厚度掃描

（以上為新啟航實測樣品數據結果）

3，卓越的“高深寬比”測量能力，實現深蝕刻槽深槽寬測量。

審核編輯 黃宇