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蘇州清芯卓半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

蘇州清芯卓半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，致力于半導(dǎo)體集成電路、中高端濕法腐蝕、清洗設(shè)備、CDS集中供液系統(tǒng)、通風(fēng)柜/廚等一站式的解決方案的技術(shù)企業(yè).

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清芯卓光阻Cup清洗機(jī)

型號(hào)： qxzGZCUP

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 工藝槽功能 循環(huán)過濾+加熱
  • 基礎(chǔ)工藝流程 藥液槽→丙酮→IPA→QDR

--- 產(chǎn)品詳情 ---

晶片規(guī)格： 2-8〞單、雙cassette  主要材料: 金屬骨架+SUS304殼體，槽體材質(zhì)SUS316  工藝槽功能： 循環(huán)過濾+加熱  基礎(chǔ)工藝流程: 藥液槽→丙酮→IPA→QDR  設(shè)備類型： 手動(dòng)/半自動(dòng)/全自動(dòng) (定制）   Footprint : 1800 (W) x 1300 (D) x 2000(H) mm 

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    產(chǎn)品型號(hào)：qxzSlug 工藝槽功能：循環(huán)過濾+加熱冷卻 基礎(chǔ)工藝流程：MAE酸槽→QDR→MAE酸槽→QDR→C5酸槽→QDR

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    產(chǎn)品型號(hào)：qxzWY 工藝槽功能：循環(huán)過濾+加熱冷卻+供液 基礎(chǔ)工藝流程：藥液槽→QDR→-------QDR→IPA（可增減）

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    產(chǎn)品型號(hào)：qxzGZCUP 工藝槽功能：循環(huán)過濾+加熱 基礎(chǔ)工藝流程：藥液槽→丙酮→IPA→QDR

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    產(chǎn)品型號(hào)：qxzXY 工藝槽功能：循環(huán)過濾+加熱冷卻+晶片滾動(dòng) 基礎(chǔ)工藝流程：顯影槽→QDR 顯影槽→QDR
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