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蘇州清芯卓半導體設備有限公司

蘇州清芯卓半導體設備有限公司,致力于半導體集成電路、中高端濕法腐蝕、清洗設備、CDS集中供液系統、通風柜/廚等一站式的解決方案的技術企業.

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清芯卓外延最終清洗機

型號: qxzWY

--- 產品參數 ---

  • 工藝槽功能 循環過濾+加熱冷卻+供液
  • 基礎工藝流程 藥液槽→QDR→-------QDR→IPA(可增減)

--- 產品詳情 ---

晶片規格: 2-12〞單、雙cassette  主要材料: 金屬骨架+PP/PVC殼體,槽體材質PP/PVDF/PTFE /石英  工藝槽功能: 循環過濾+加熱冷卻+供液  基礎工藝流程: 藥液槽→QDR→-------QDR→IPA(可增減)  設備類型: 手動/半自動/全自動(定制)   Footprint : 6000 (W) x 1800 (D) x 2100(H) mm 

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    產品型號:qxzWY 工藝槽功能:循環過濾+加熱冷卻+供液 基礎工藝流程:藥液槽→QDR→-------QDR→IPA(可增減)
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    產品型號:qxzXY 工藝槽功能:循環過濾+加熱冷卻+晶片滾動 基礎工藝流程:顯影槽→QDR 顯影槽→QDR
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