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蘇州清芯卓半導體設備有限公司

蘇州清芯卓半導體設備有限公司，致力于半導體集成電路、中高端濕法腐蝕、清洗設備、CDS集中供液系統、通風柜/廚等一站式的解決方案的技術企業.

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清芯卓甩干機

型號： qxzSG

--- 產品參數 ---

  • 晶片規格 2-8〞wafer

--- 產品詳情 ---

晶片規格： 2-8〞wafer  RPM： 500-2600r/min  基礎工藝流程: 上料→DI噴淋+旋轉→N2（hot）+旋轉→加速旋轉（溫控）→下料  腔體數量： 單腔/雙腔/四腔  設備類型： 半自動   Footprint : 480 (W) x 800(D) x 1800(H) mm 

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    產品型號：qxzWY 工藝槽功能：循環過濾+加熱冷卻+供液 基礎工藝流程：藥液槽→QDR→-------QDR→IPA（可增減）

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    產品型號：qxzGZCUP 工藝槽功能：循環過濾+加熱 基礎工藝流程：藥液槽→丙酮→IPA→QDR

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    產品型號：qxzXY 工藝槽功能：循環過濾+加熱冷卻+晶片滾動 基礎工藝流程：顯影槽→QDR 顯影槽→QDR
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