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電子發燒友網>電子資料下載>顯示及光電>VHF-PECVD制備微晶硅材料及電池

VHF-PECVD制備微晶硅材料及電池

2010-11-23 | rar | 556 | 次下載 | 5積分

資料介紹

摘要:采用VHF-PECVD技術制備了不同功率系列的微晶硅薄膜和電池,測試結果表明:制備的適用于微晶硅電池的有源層材料的暗電導和光敏性都在電池要求的參數范圍內.低功率或高功率條件下,電池從n和p方向的喇曼測試結果是不同的,在晶化率方面材料和電池也有很大的差別,把相應的材料應用于電池上時,這一點很重要.采用VHF-PECVD技術制備的微晶硅電池效率為5%,Voc=0.45V,Jsc=22mA/cm2,FF=50%,Area=0.253cm2
.
關鍵詞:甚高頻等離子體增強化學氣相沉積;微晶硅薄膜;微晶硅電池
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