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介紹了非晶硅薄膜太陽能電池和支撐設備的技術發展現狀和市場情況，針對我國薄膜太陽能電池產業的需求情況，探討了發展薄膜太陽能電池產業的途徑。太陽能光伏發電技術作為太陽能利用中最具意義的技術，成為世界各國競相研究應用的熱點。最近 10 年以每年平均 30％的速度遞增。目前，光伏電池仍然是以晶體硅光伏電池為主，市場份額達 90％，其次是非晶硅薄膜太陽能電池發展迅速，市場份額占到 6％～7％。
非晶硅薄膜光伏電池的特點
一是材料和制造工藝成本低。這是因為襯底材料（如玻璃、不銹鋼、塑料等）價格低廉。硅薄膜厚度不到 1 μm，昂貴的純硅材料用量很少。制作工藝為低溫工藝（100 ℃～300 ℃），生產過程中耗電量小，能量回收時間短。
二是易于形成大規模生產能力。這是因為核心工藝適合制作特大面積無結構缺陷的 a－Si 合金薄膜；只需改變氣相成分或者氣體流量便可實現 pn 結以及相應的迭層結構；生產過程可實現全流程自動化。
三是品種多，用途廣。薄膜的 a－Si 太陽電池易于實現集成化，器件功率、輸出電壓、輸出電流都可自由設計，可以較方便地制作出適合不同需求的品種較多的產品。
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