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電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>高頻電路的半導體材料及工藝詳細資料說明

高頻電路的半導體材料及工藝詳細資料說明

2020-12-30 | pdf | 0.49 MB | 次下載 | 5積分

資料介紹

  半導體材料是一類具有半導體性能(導電能力介于導體與絕緣體之間,電阻率約在 1mΩ·cm~1GΩ·cm 范圍內)、可用來制作半導體器件和集成電路電子材料。按種類可以分為元素半導體和化合物半導體兩大類,元素半導體指硅、鍺單一元素形成的半導體,化合物指砷化鎵、磷化銦等化合物形成的半導體。隨著無線通信的發展,高頻電路應用越來越廣,今天我們來介紹適合用于射頻微波等高頻電路的半導體材料及工藝情況。

  砷化鎵 GaAs

  砷化鎵的電子遷移速率比硅高 5.7 倍,非常適合用于高頻電路。砷化鎵組件在高頻、高功率、高效率、低噪聲指數的電氣特性均遠超過硅組件,空乏型砷化鎵場效晶體管(MESFET)或高電子遷移率晶體管(HEMT/PHEMT),在 3 V 電壓操作下可以有 80 %的功率增加效率(PAE: power addedefficiency),非常的適用于高層(high tier)的無線通訊中長距離、長通信時間的需求。砷化鎵元件因電子遷移率比硅高很多,因此采用特殊的工藝,早期為 MESFET 金屬半導體場效應晶體管,后演變為 HEMT ( 高速電子遷移率晶體管),pHEMT( 介面應變式高電子遷移電晶體)目前則為 HBT ( 異質接面雙載子晶體管)。異質雙極晶體管 (HBT)是無需負電源的砷化鎵組件,其功率密度(power density)、電流推動能力(current drive capability)與線性度(linearity)均超過 FET,適合設計高功率、高效率、高線性度的微波放器,HBT 為最佳組件的選擇。而 HBT 組件在相位噪聲,高 gm、高功率密度、崩潰電壓與線性度上占優勢,另外它可以單電源操作,因而簡化電路設計及次系統實現的難度,十分適合于射頻及中頻收發模塊的研制,特別是微波信號源與高線性放大器等電路。
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