資料介紹
半導體材料是一類具有半導體性能(導電能力介于導體與絕緣體之間,電阻率約在 1mΩ·cm~1GΩ·cm 范圍內)、可用來制作半導體器件和集成電路的電子材料。按種類可以分為元素半導體和化合物半導體兩大類,元素半導體指硅、鍺單一元素形成的半導體,化合物指砷化鎵、磷化銦等化合物形成的半導體。隨著無線通信的發展,高頻電路應用越來越廣,今天我們來介紹適合用于射頻、微波等高頻電路的半導體材料及工藝情況。
砷化鎵 GaAs
砷化鎵的電子遷移速率比硅高 5.7 倍,非常適合用于高頻電路。砷化鎵組件在高頻、高功率、高效率、低噪聲指數的電氣特性均遠超過硅組件,空乏型砷化鎵場效晶體管(MESFET)或高電子遷移率晶體管(HEMT/PHEMT),在 3 V 電壓操作下可以有 80 %的功率增加效率(PAE: power addedefficiency),非常的適用于高層(high tier)的無線通訊中長距離、長通信時間的需求。砷化鎵元件因電子遷移率比硅高很多,因此采用特殊的工藝,早期為 MESFET 金屬半導體場效應晶體管,后演變為 HEMT ( 高速電子遷移率晶體管),pHEMT( 介面應變式高電子遷移電晶體)目前則為 HBT ( 異質接面雙載子晶體管)。異質雙極晶體管 (HBT)是無需負電源的砷化鎵組件,其功率密度(power density)、電流推動能力(current drive capability)與線性度(linearity)均超過 FET,適合設計高功率、高效率、高線性度的微波放器,HBT 為最佳組件的選擇。而 HBT 組件在相位噪聲,高 gm、高功率密度、崩潰電壓與線性度上占優勢,另外它可以單電源操作,因而簡化電路設計及次系統實現的難度,十分適合于射頻及中頻收發模塊的研制,特別是微波信號源與高線性放大器等電路。
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