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微加工系統設計與控制
課程內容介紹1.主要目的:
??? a.在于培育學生微加工系統各項模塊組件組成、設計、感測原理與機電接口控制技術。
??? b.了解微加工系統各項技術，包括：
制程控制、壓電組件、微奈米平臺進給驅動器與伺服控制、
位置量測、計算機整合精密機電系統、
微細精密加工系統之機電結構、
驅動原理以及相對加工控制之策略。
2.課程特色:
?? 為以微奈米平臺伺服控制系統為實例，說明微加工系統設計與控制概念，提供學實際設計與操作模塊，培養學生系統整合與實作技術。
3.課程探討內容:
? a.智能型材料的使用，如壓電、磁縮…等。
? b.智能型材料的驅動原理與控制電路
? c.智能型材料回授控制電路組立\流程。
? d.藉以仿真軟件了解材料機電特性與驅動? 模式。
? e.專題實作
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電機致動器之基本原理、內部構造、應用實例與相關研究方向（理論講授）。
壓電、磁縮致動器之基本原理、應用實例與相關參數之推導（理論講授）。
結構仿真分析－運用有限元素法分析軟件ANSYS，藉由建構相關結構體之模塊化與步驟，模擬分析相關致動器微動狀態 。
驅動與控制電路簡介（理論講授）
驅動電路原理與設計：電機馬達驅動器、壓電驅????? 動器、與相關材料驅動技術，BJT/MOS FET相關原理與應用（理論講授）
控制電路原理與設計：CPLD、FPGA與DSP相關電路之? 軟硬件教學（理論講授）
電路仿真分析軟件：Pspice、Orcad、Protel與Matlab之運用
實驗－配合致動器之驅動器與控制器之設 計與實作
精密位移與速度量測：光學感測原理與相關應用組件說明（理論講授）
光學式、電感式、電容式高分辨率精密傳感器
驅動器電子電路制作
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微動機構設計軟件
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