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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>半導體制造_蝕刻技術

半導體制造_蝕刻技術

2011-10-31 | doc | 36 KB | 次下載 | 免費

資料介紹

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  在積體電路製造過程中,常需要在晶圓上定義出極細微尺寸的圖案(Pattern),這些圖案主要的形成方式,乃是藉由蝕刻(Etching)技術,將微影(Micro-lithography)后所產生的光阻圖案忠實地轉印至光阻下的材質上,以形成積體電路的復雜架構。因此蝕刻技術在半導體製造過程中佔有極重要的地位。

  廣義而言,所謂的蝕刻技術,包含了將材質整面均勻移除及圖案選擇性部份去除的技術。而其中大略可分為濕式蝕刻(Wet Etching)與乾式蝕刻(Dry Etching)兩種技術。

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