電子發燒友App
創作
發文章
發帖 
提問 
發資料
發視頻資料介紹
設計了一種基于靜電懸浮原理的微機械加速度計!
它采用三明治結構的微敏感元件"電容式位移檢測方案及靜
電力懸浮控制方案!著重對敏感元件的主要結構設計#參數
的選取#支承靜電力的計算以及量程極限#精度極限等問題
進行了分析"表明在目前技術條件下"可以實現量程約$%"
精度為&’($%的懸浮微加速度計!設計并加工出一種圓環
形結構的敏感元件"已實現了)軸方向的靜電懸浮及加速
度測量"證明設計方案是可行的"進一步研究可實現三軸懸
浮加速度計!
它采用三明治結構的微敏感元件"電容式位移檢測方案及靜
電力懸浮控制方案!著重對敏感元件的主要結構設計#參數
的選取#支承靜電力的計算以及量程極限#精度極限等問題
進行了分析"表明在目前技術條件下"可以實現量程約$%"
精度為&’($%的懸浮微加速度計!設計并加工出一種圓環
形結構的敏感元件"已實現了)軸方向的靜電懸浮及加速
度測量"證明設計方案是可行的"進一步研究可實現三軸懸
浮加速度計!
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 举报投诉
下載該資料的人也在下載
下載該資料的人還在閱讀
更多 >
- 微加速度计的原理与应用22次下载
- 微机械加速度计的工作原理及硅微机械传感器的介绍19次下载
- 基础加速度计传感器26次下载
- 选择一个加速度计的技巧10次下载
- MEMSIC攻克加速度计难题8次下载
- 降低加速度计的平均功耗11次下载
- 微机械加速度计自动测试系统23次下载
- MEMS及微机械加速度计可靠性研究0次下载
- 谐振式微机械加速度计设计的关键技术16次下载
- 微机械加速度计校正电路设计14次下载
- 电容式、隧道式加速度计检测技术研究14次下载
- 叉指微加速度计的设计与闭环检测研究15次下载
- 三维MEMS加速度计的性能测试方法与分析24次下载
- 梳齿式微机械加速度计静态模型的辨识11次下载
- 电容式微机械加速度计系统动态特性研究5次下载
- 状态监测中数字MEMS加速度计的混叠效应1394次阅读
- MEMS加速度计中的振动校正3184次阅读
- 如何使用加速度计提高倾角测量的准确性3587次阅读
- MEMS加速度计性能成熟1685次阅读
- 为什么MEMS加速度计正在成为设计人员在CbM应用中的最佳选择1928次阅读
- ADXL345三轴数字加速度计的驱动设计与实现8576次阅读
- 如何扩展MEMS加速度计的带宽4494次阅读
- 加速度计的安装方法分享5831次阅读
- 一文详解压电加速度计3446次阅读
- 九轴传感器之加速度计是怎么回事3012次阅读
- digilentPmodACL三轴加速度计介绍2427次阅读
- 关于一种带数模混合输出的加速度计系统的设计和验证4716次阅读
- MEMS加速度计是什么 加速度计工作原理27157次阅读
- 如何用加速度计中断引脚执行唤醒和非运动检测5123次阅读
- 新型MEMS加速度计与商用压电(PZT)状态监控加速度计的比较8410次阅读
上傳資料賺積分 广告![]()
下載排行
本周
- 1DC電源插座圖紙
- 0.67 MB | 2次下載 | 免費
- 2AN158 GD32VW553 Wi-Fi開發指南
- 1.51MB | 2次下載 | 免費
- 3AN148 GD32VW553射頻硬件開發指南
- 2.07MB | 1次下載 | 免費
- 4AN111-LTC3219用戶指南
- 84.32KB | 次下載 | 免費
- 5AN153-用于電源系統管理的Linduino
- 1.38MB | 次下載 | 免費
- 6AN-283: Σ-Δ型ADC和DAC[中文版]
- 677.86KB | 次下載 | 免費
- 7SM2018E 支持可控硅調光線性恒流控制芯片
- 402.24 KB | 次下載 | 免費
- 8AN-1308: 電流檢測放大器共模階躍響應
- 545.42KB | 次下載 | 免費
本月
- 1ADI高性能電源管理解決方案
- 2.43 MB | 450次下載 | 免費
- 2免費開源CC3D飛控資料（電路圖&PCB源文件、BOM、
- 5.67 MB | 138次下載 | 1 積分
- 3基于STM32單片機智能手環心率計步器體溫顯示設計
- 0.10 MB | 130次下載 | 免費
- 4使用單片機實現七人表決器的程序和仿真資料免費下載
- 2.96 MB | 44次下載 | 免費
- 53314A函數發生器維修手冊
- 16.30 MB | 31次下載 | 免費
- 6美的電磁爐維修手冊大全
- 1.56 MB | 24次下載 | 5 積分
- 7如何正確測試電源的紋波
- 0.36 MB | 17次下載 | 免費
- 8感應筆電路圖
- 0.06 MB | 10次下載 | 免費
總榜
- 1matlab軟件下載入口
- 未知 | 935121次下載 | 10 積分
- 2開源硬件-PMP21529.1-4 開關降壓/升壓雙向直流/直流轉換器 PCB layout 設計
- 1.48MB | 420062次下載 | 10 積分
- 3Altium DXP2002下載入口
- 未知 | 233088次下載 | 10 積分
- 4電路仿真軟件multisim 10.0免費下載
- 340992 | 191367次下載 | 10 積分
- 5十天學會AVR單片機與C語言視頻教程 下載
- 158M | 183335次下載 | 10 積分
- 6labview8.5下載
- 未知 | 81581次下載 | 10 積分
- 7Keil工具MDK-Arm免費下載
- 0.02 MB | 73810次下載 | 10 積分
- 8LabVIEW 8.6下載
- 未知 | 65988次下載 | 10 積分
工商網監
評論