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光刻機(jī)

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光刻機(jī)技術(shù)

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EUV光刻工藝制造技術(shù)主要有哪些難題?

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EUV 光刻制造全流程設(shè)計(jì)解析

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什么是納米壓印技術(shù)?能否取代***?

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2000年代初,芯片行業(yè)一直致力于從193納米氟化氬(ArF)光源光刻技術(shù)過渡到157納米氟(F 2 )光源光刻技術(shù)。

2023-08-23 標(biāo)簽:編碼器晶圓交換機(jī) 1481 0

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2024-02-21 標(biāo)簽:光譜反射鏡鍍膜機(jī) 1311 0

EUV光刻技術(shù)出現(xiàn)新的挑戰(zhàn):3nm節(jié)點(diǎn)的金屬間距約為22nm

22 nm 節(jié)距quasar illumination的較小部分使得最低衍射級避免了遮擋可以安全使用,但填充的pupil不到 20%,這再次意味著額外的...

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