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標(biāo)簽 > 光刻機(jī)
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光掩模可以被認(rèn)為是芯片的模板。光掩模用電子束圖案化并放置在光刻工具內(nèi)。然后,光掩模可以吸收或散射光子,或允許它們穿過晶圓。這就是在晶圓上創(chuàng)建圖案的原因。
集成電路前道工藝及對應(yīng)設(shè)備主要分八大類,包括光刻(光刻機(jī))、刻蝕(刻蝕機(jī))、薄膜生長(PVD-物理氣相沉積、CVD-化學(xué)氣相沉積等薄膜設(shè)備)、擴(kuò)散(擴(kuò)散...
在投影光刻機(jī)照明系統(tǒng)中,均勻照明是保證加工出的線條線寬均勻一致的一項(xiàng)重要技術(shù)。通常,用于光刻機(jī)照明系統(tǒng)的勻光元件有積分棒、衍射光學(xué)元件和微透鏡陣列。積分...
2023-05-17 標(biāo)簽:照明系統(tǒng)光學(xué)設(shè)計(jì)光刻機(jī) 1869 0
提到CPU性能,大部分同學(xué)想到的都是CPU利用率,這個(gè)指標(biāo)確實(shí)應(yīng)該首先被關(guān)注。但是除了利用率之外,還有很容易被人忽視的指標(biāo),就是指令的運(yùn)行效率。
納米壓印技術(shù),即Nanoimprint Lithography(NIL),是一種新型的微納加工技術(shù)。該技術(shù)將設(shè)計(jì)并制作在模板上的微小圖形,通過壓印等技術(shù)...
根據(jù)存儲與計(jì)算的距離遠(yuǎn)近,將廣義存算一體的技術(shù)方案分為三大類,分別是近存計(jì)算 (Processing Near Memory,PNM)、存內(nèi)處理(Pro...
光源掩模協(xié)同優(yōu)化的原理與應(yīng)用
由于SMO優(yōu)化的結(jié)果是要應(yīng)用到整塊芯片上去的,而對所有的圖形進(jìn)行SMO是極為耗時(shí)的,因此,我們需要使用關(guān)鍵圖形篩選技術(shù)提前將重復(fù)或者冗余的圖形剔除,以保...
其全流程涉及了從 EUV 光源到反射鏡系統(tǒng),再到光掩模,再到對準(zhǔn)系統(tǒng),再到晶圓載物臺,再到光刻膠化學(xué)成分,再到鍍膜機(jī)和顯影劑,再到計(jì)量學(xué),再到單個(gè)晶圓。
納米壓印是微納工藝中最具發(fā)展?jié)摿Φ牡谌饪坦に嚕亲钣邢M〈鷺O紫外光的新一代工藝。最近,海力士公司從佳能購買了一套奈米壓印機(jī),進(jìn)行了大規(guī)模生產(chǎn),并取...
中國科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)院是國家首批支持建設(shè)的示范性微電子學(xué)院。為了提高學(xué)生對先進(jìn)光刻技術(shù)的理解,本學(xué)期集成電路學(xué)院開設(shè)了《集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)...
EUV光刻技術(shù)出現(xiàn)新的挑戰(zhàn):3nm節(jié)點(diǎn)的金屬間距約為22nm
22 nm 節(jié)距quasar illumination的較小部分使得最低衍射級避免了遮擋可以安全使用,但填充的pupil不到 20%,這再次意味著額外的...
計(jì)算光刻技術(shù)有多重要?計(jì)算光刻如何改變2nm芯片制造?
光刻是在晶圓上創(chuàng)建圖案的過程,是芯片制造過程的起始階段,包括兩個(gè)階段——光掩膜制造和圖案投影。
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