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標簽 > 半導體制造
半導體制造,是用于制造半導體器件的過程,通常是日常電氣和電子設備中使用的集成電路(IC)芯片中使用的金屬-氧化物-半導體(MOS)器件。
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半導體制造在patterning的挑戰 OPC模型的基本原理
在半導體制造,是一個不斷向前快速發展推進的領域。我們通常聽到的從14nm技術到7 nm技術指的就是的工藝技術節點的進步。
清洗質量的好壞將直接影響到器件的成品率、性能和可靠性,國內外各大公司、研究機構等對清洗工藝的研究從未停止,但一些特殊問題仍未得到徹底解決。
清洗硅晶片,在其上形成諸如金屬或絕緣膜的薄膜,并且通過光刻形成用于電路圖案的抗蝕劑掩模。然后,通過干法蝕刻進行實際加工,去除并清洗不需要的抗蝕劑,并檢查...
半導體器件制作工藝分為前道和后道工序,晶圓制造和測試被稱為前道(Front End)工序,而芯片的封裝、測試及成品入庫則被稱為后道(Back End)工...
設備功能:將兩片晶圓互相結合,并使表面原子互相反應,產生共價鍵合,合二為一,是實現3D晶圓堆疊的重要設備。
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