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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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X射線光刻(X-ray lithography)技術是什么意思
X射線光刻(X-ray lithography)技術是電子工業中用于選擇性去除一部分薄膜的工藝。使用X射線將幾何圖形轉移光敏光刻膠上。然后進行一系列化學...
SPI至RS-485/RS-422設計解決方案的詳細物理層設計注意事項
為MEMS實現有線物理層接口的常見挑戰包括管理EMC魯棒性和數據完整性。然而,當在長RS-485/RS-422電纜上擴展時鐘同步接口(如SPI)時,以及...
為什么MEMS加速度計正在成為設計人員在CbM應用中的最佳選擇
全球狀態監測(CbM)市場在過去幾年中經歷了顯著增長,并且這種情況似乎將繼續下去。1這種增長恰逢MEMS加速度計用于振動傳感應用的快速發展,現在可以與曾...
MEMS壓力傳感器是傳感器行業中市場規模最大的細分市場之一,具有體積小、功耗低、價格便宜等優點。隨著時代的發展及人們對健康的重視度提高,血壓儀開始走進用...
關于卡爾曼這部分內容,一直思考怎么用通俗易懂的方式來按照自己的理解梳理。但是無奈,總是繞不開用數學的方法表達那 5 個關鍵的公式。不論是在B站,還是各個...
許多MEMS 驅動器都是利用靜電力作用驅動力。在很多微型電動機和制動器的設計工作中,準確的估算靜電力大小是非常重要的。
該研究中對傳感器進行的相關測試仍采用開環驅動電路,閉環驅動電路由于電路匹配問題仍在優化過程中。預計采用閉環驅動電路進行測試后,傳感器的靈敏度將得到提高,...
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