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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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為了獲得高分辨率數據,可靠地識別小目標,激光必須準直地擊中目標,這是通過在激光器前面放置一個透鏡來實現的。
我們曾在之前發布的文章《解讀MEMS麥克風技術與設計》中指出, MEMS麥克風的需求是由客戶所要求的音頻功能驅動的,如立體聲、語音識別、聲音指向性、噪音...
在環境監測、醫療診斷和工業產品制造等領域,能夠對多種分析物進行選擇性檢測的高性能氣體/化學傳感器是近些年研究關注的熱點。
中山大學電子與信息技術學院林佑昇副教授團隊近日在Electronics期刊上發表了一篇綜述文章,研究并評估了利用靜電驅動(ESA)、電熱驅動(ETA)、...
原子層沉積(ALD)工藝助力實現PowderMEMS技術平臺
Fraunhofer ISIT的PowderMEMS是一項新研發的創新技術,用于在晶圓級上從多種材料中創建三維微結構。該技術基于通過原子層沉積(ALD)...
高性能運動跟蹤技術已經從深奧的軍事、航空電子設備、海洋和工業應用遷移到不斷擴大的消費應用范圍。盡管如此,將高性能運動跟蹤引入消費市場通常會迫使設計人員協...
5.??? MEMS 振蕩器對 EMI 的敏感度要低得多 電磁能在大多數系統中很常見,可以通過將晶體諧振器連接到包含振蕩器電路的 IC 的暴露 PCB ...
1 簡介 半導體組件有望在產品的整個生命周期內可靠地運行。 選擇具有最高可靠性等級的設備可以限制故障組件導致現場產品出現故障的可能性。 SiTime 提...
一、什么是5G 5G是第五代移動通信技術(5th-Generation)的簡稱,是新一代的蜂窩移動通信技術,也是繼4G、3G、2G系統之后的延伸,5G的...
電子發燒友網報道(文/程文智)不論我們設計的電子產品是應用在云計算、無線LTE、數據中心,還是物聯網、汽車、醫療保健,或者是航空航天等領域,系統內必然需...
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