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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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在生產和應用過程中,MEMS壓力傳感器的缺點也表現地較為突出。例如MEMS晶圓芯體生產工藝相對復雜;在不銹鋼充油和倒裝焊技術中,中高壓封裝成本較高等。
2017-09-25 標簽:mems 3897 0
基于MEMS技術的微型光束操縱器件有望實現更輕、更低成本的激光雷達
“機器人和無人機是絕對可能的應用領域,”Gylfason說,“目前的激光雷達系統對于自動駕駛汽車而言成本過于高昂,而汽車產業對成本非常敏感。其他可能的應...
本文基于自動調焦顯微視覺的MEMS動態測試系統,通過采集MEMS器件顯微視覺圖像,利用平面亞像素運動位移算法和焦平面的定位,實現對被測MEMS器件平面和...
壓力傳感器廣泛應用于物聯網應用,例如無人機和工業自動化。但是,設計人員始終面臨挑戰,必須不斷改進設備的精度、分辨率、抗噪能力和溫度穩定性,同時降低成本,...
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣等干燥潔凈無腐蝕性氣體的測量控制,標準量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
這款最新類型的MEMS加速度計具有低噪聲、高工作頻率性能,針對條件監測可實現全新的產品設計。MEMS加速度計采用單電源工作,具有穩定的靈敏度、抗沖擊、低...
目前,傳感器在物聯網發展中正扮演者越來越重要的角色,目前傳感器產品需求大幅增加,并且重心逐漸轉向技術含量較高的MEMS傳感器領域,MEMS傳感器的精確度...
電磁驅動型掃描微鏡是依據帶電線圈產生的電磁場來驅動的。電磁微鏡最明 顯的優勢是僅在低電壓低電流的驅動下就可以達到較大的微鏡角度偏轉,同時也 具有偏轉速度...
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