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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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波音公司提出的嵌套環MEMS陀螺如圖2(a)所示,其直徑約8mm,環與環之間的間隙較大,可以用來設置內部電極用于驅動、檢測或靜電修調。該陀螺具有較大的等...
可調光衰減器(VOA)是光纖通信系統中的一種重要的光纖動態器件,主要用于密集波分復用(DWDM)系統中信道的功率平衡,實現增益平坦、動態增益平衡及傳輸功...
基于英飛凌 XENSIV? MEMS高性能麥克風 IM69D130 語音交互解決方案
談到邊緣AI,落地最成功的產品莫過于智能音箱——從語音拾取,結合語義理解,進而輸出反饋,如此實現了完整的語音交互流程。
1、遠程查看亮度數據:如家庭家居兒童寫字臺適宜亮度在300lux以上 2、自動化聯動燈具開關:如學校教室環境亮度低于300lux時,自動打開燈光 ...
據中國電子信息產業發展研究院預測,未來五年國內傳感器市場年復合增長31%。汽車、物流、礦業探勘、煤礦安監、安防、RFID標簽卡領域的傳感器市場增長較快...
使用MEMS加速度計和自適應參考方法助于大幅提高DVR系統性能
現代車載數字視頻記錄系統 (DVR) 或 OBD 正在使用加速度計(g 傳感器)來測量車載加速度。這允許DVR在發生預定義事件(例如急剎車或碰撞)時,使...
大多數MOEMS制作技術是直接由IC工業及其制造標準演化而來。因此,在MOEMS中采用體和表面微機械加工及高產量的微機械加工(HARM)技術。但有管芯尺...
捷聯式管道系統的最大特點是依靠短發建立起導航坐標系統,即平臺坐標系以數學平臺形式存在,這樣省略了復雜的物理實體平臺,結構簡單、體積小、重量輕、成本低、維...
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時間傳感器的詳細資料說明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級精度的距離傳感功能,并具有業內最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測量、位置追蹤、人員...
本演示視頻介紹Simbex Corporation的足球場沖撞分析系統。每個頭盔內置6個高g值加速度計、一個DSP和發射機。系統通過一臺筆記本電腦以無線...
HA:MEMS包含各種可動元件并且需要各種檢測工藝。對于不同的檢測工藝通常需要多個步驟,而在產線中具有縮減檢測過程的需求。ViSCO實現了這一目標,提供...
為了獲得高分辨率數據,可靠地識別小目標,激光必須準直地擊中目標,這是通過在激光器前面放置一個透鏡來實現的。
MEMS技術是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的,它開辟了一個全新的技術領域和產業,其目標是把信息的獲取、處理和執行集...
制造MEMS芯片需要什么工藝?對傳感器有什么影響?這次終于講明白了!(推薦)
本文整理自公眾號芯生活SEMI Businessweek中關于MEMS制造工藝的多篇系列內容,全面、專業地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況,推薦!...
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