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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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振動(dòng)校正誤差(VRE)是加速度計(jì)對(duì)交流振動(dòng)的響應(yīng),這些振動(dòng)被糾正為直流,表現(xiàn)為加速度計(jì)偏移的異常偏移。在傾角計(jì)等應(yīng)用中,這是一個(gè)重要的誤差源,其中加速度...
從簡(jiǎn)單的精度約30000ppm的RC振蕩器,到精度優(yōu)于0.001ppb的原子鐘,有很多滿(mǎn)足不同應(yīng)用要求的時(shí)鐘選項(xiàng)。多年以來(lái),體聲波(BAW)晶體振蕩器可...
如何推導(dǎo)電容式MEMS加速度計(jì)中使用的傳遞函數(shù)
在本文中,我們將了解如何推導(dǎo)電容式 MEMS 加速度計(jì)中使用的質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng)的傳遞函數(shù)。
用靜電懸浮技術(shù)設(shè)計(jì)耐久的MEMS開(kāi)關(guān)
據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道,研究人員開(kāi)發(fā)了一款新型MEMS開(kāi)關(guān),利用靜電懸浮技術(shù)提供了更耐久的系統(tǒng)。
基于LPC2138微處理器實(shí)現(xiàn)機(jī)器人手臂控制器的應(yīng)用方案
近年來(lái),隨著MEMS及相關(guān)技術(shù)的發(fā)展,微機(jī)器人領(lǐng)域已越來(lái)越來(lái)受人關(guān)注。但由于零件的尺寸很小,微機(jī)器人組件的裝配需要很高的精確度,一般的裝配方法無(wú)法滿(mǎn)足要...
MEMS_慣性傳感器16-磁力計(jì)橢球擬合校準(zhǔn)步驟
磁力計(jì)橢球擬合校準(zhǔn)是一種將磁力計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)校準(zhǔn)到真實(shí)磁場(chǎng)的技術(shù)。這種技術(shù)通常使用橢球模型來(lái)擬合磁力計(jì)的測(cè)量結(jié)果,然后通過(guò)最小二乘法來(lái)找到擬合參數(shù)的最優(yōu)解。
基于Zigbee的無(wú)線(xiàn)電子聽(tīng)診器設(shè)計(jì)
心音聽(tīng)診是進(jìn)行疾病診斷的一種重要手段,在這篇文章中我們討論了一種應(yīng)用無(wú)線(xiàn)傳輸技術(shù)設(shè)計(jì)的電子聽(tīng)診 器,該電子聽(tīng)診器是基于嵌入式處理器的。數(shù)據(jù)可以通過(guò)Zig...
2014-10-08 標(biāo)簽:MEMS運(yùn)算放大器LM386 3329 0
小白必看!MEMS時(shí)鐘振蕩器在射頻系統(tǒng)中的經(jīng)典應(yīng)用方案
結(jié)合了MEMS和高分辨率鎖相環(huán)電路的DCXO,能支持最小量化噪聲設(shè)計(jì)的高速數(shù)字鎖相環(huán)路和不受頻率牽引范圍影響的相位噪聲,適合于應(yīng)用到各種射頻和通信系統(tǒng)中。
基于MEMS加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)傾角測(cè)量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
基于MEMS加速度計(jì)的傾角測(cè)量模塊具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、抗沖擊、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)有加速度干擾下的傾角測(cè)量存在較大誤差,本文圍繞這一誤差產(chǎn)生的來(lái)源...
2020-08-05 標(biāo)簽:mems電機(jī)測(cè)量系統(tǒng) 3308 0
在空間飛行器的慣性測(cè)量系統(tǒng),機(jī)器人的機(jī)械臂延展確定,車(chē)船體傾斜測(cè)量,巖體傾向判斷和工程鉆孔軌跡檢測(cè)等許多方面都需要測(cè)量物體的傾斜和方向等參數(shù)。
應(yīng)用于工業(yè)消費(fèi)市場(chǎng)的低功耗MEMS傳感器的介紹
MEMS傳感器徹底改變了我們與日常技術(shù)互動(dòng)的方式,使其更容易,更便于用戶(hù)使用。 MEMS傳感器提供諸如2軸和3軸線(xiàn)性加速度計(jì)以及單軸和多軸陀螺儀等功能S...
醫(yī)療可穿戴智能設(shè)備的主要器件:MEMS傳感器
隨著可穿戴智能設(shè)備的發(fā)展,特別是醫(yī)療可穿戴智能設(shè)備,主要依靠MEMS傳感器,從而檢測(cè)到穿戴者的身體各項(xiàng)信息。那么什么是MEMS傳感器呢?
2014-01-14 標(biāo)簽:傳感器MEMS可穿戴設(shè)備 3269 1
基于MEMS技術(shù)的1×N端口光開(kāi)關(guān)的原理結(jié)構(gòu)與用途分析
8×16端口MCS光開(kāi)關(guān)的結(jié)構(gòu)如圖2所示,它包括8個(gè)1×16端口的PLC光分路器和16個(gè)8×1端口的光開(kāi)關(guān),光分路器通常以PLC技術(shù)制備,而1×N端口光...
2020-01-27 標(biāo)簽:開(kāi)關(guān)mems互聯(lián)網(wǎng) 3253 0
微/納機(jī)電系統(tǒng)發(fā)展特點(diǎn)及前景
本文分析了微/納機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展特點(diǎn),討論了MEMS和NEMS發(fā)展中的幾個(gè)問(wèn)題和MEMS和NEMS的發(fā)展前景。
2012-03-08 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3239 0
通過(guò)傳感器實(shí)現(xiàn)嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的振動(dòng)監(jiān)控
現(xiàn)在,傳感器和傳感器處理方面的技術(shù)發(fā)展可實(shí)現(xiàn)完全嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的部署,并且能夠可靠地對(duì)設(shè)備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進(jìn)行檢測(cè)和分析,如圖1所示。
智能模塊和/或 SiP 集成是關(guān)鍵,將允許大規(guī)模部署連接的設(shè)備。為此,價(jià)值鏈中不同參與者之間的早期合作以及簡(jiǎn)化的供應(yīng)鏈非常重要。系統(tǒng)集成商必須開(kāi)發(fā)并...
MEMS熱式質(zhì)量流量傳感器的原理和應(yīng)用
熱式質(zhì)量流量傳感器是利用氣體流經(jīng)加熱元器件時(shí),從加熱元器件表面帶走部分熱量,根據(jù)氣體流量與換熱量之間的關(guān)系進(jìn)行測(cè)量。利用此傳感器做成的流量計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單...
目前MEMS傳感器在消費(fèi)類(lèi)電子產(chǎn)品中得到廣泛應(yīng)用,但是MEMS角速率陀螺儀存在嚴(yán)重的零點(diǎn)漂移和隨機(jī)誤差,在捷聯(lián)慣性導(dǎo)航解算中會(huì)產(chǎn)生積分誤差,難以達(dá)到應(yīng)用的精度。
采用MEMS傾角傳感器實(shí)現(xiàn)傾角測(cè)量系統(tǒng)的軟硬件設(shè)計(jì)
在地質(zhì)石油勘探、設(shè)備安裝、道路橋梁建設(shè)等工程應(yīng)用以及機(jī)器人控制、坦克和艦船火炮平臺(tái)控制、飛機(jī)姿態(tài)控制等系統(tǒng)的自動(dòng) 水平調(diào)節(jié)中,都需要高精度的傾角測(cè)量。但...
2020-08-22 標(biāo)簽:傳感器mems測(cè)量系統(tǒng) 3218 0
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