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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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2015年開始,以集成微系統任務需求為牽引,通過問題定位、技術分解,確立了基于PZT材料的MEMS微執行器研究,目前取得的研究進展包括以下幾個方面:壓電...
ST推出STA321MP系列音頻IC產品,可直接連接最新的微型麥克風
STA321MP是意法半導體SoundTerminal系列音頻IC的最新產品,內置MEMS數字麥克風和標準麥克風輸入接口。微型尺寸與抗液晶顯示器和功率器...
微全分析系統的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz與Widmer提出的,當時主要強調了分析系統的微與全,及微管道網絡的MEMS...
MEMS OIS解決方案具有高性能、小尺寸、低功耗等特點,因此具有巨大的市場潛力。隨著更好的OIS技術應用,移動拍照媲美專業級單反相機的時代正在來臨!
重力傳感器簡稱GV-sensor,輸出重力數據。 在地球上,重力數值為9.8,單位是m/s^2。 坐標系統與加速度傳感器相同。 當設備復位時...
大多數MOEMS制作技術是直接由IC工業及其制造標準演化而來。因此,在MOEMS中采用體和表面微機械加工及高產量的微機械加工(HARM)技術。但有管芯尺...
使用Tanner實現物聯網所用的CMOS IC與MEMS的集成設計
實際上,許多IoT邊緣器件會在單個封裝中集成多個芯片,將電子器件與MEMS設計分開。Tanner AMS IC設計流程支持單芯片或多芯片技術,因而有助于...
MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的,目前MEMS加工技術還被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學等領域,從而進行...
MEMS是一種全新的必須同時考慮多種物理場混合作用的研發領域,相對于傳統的機械,它們的尺寸更小,最大的不超過一個厘米,甚至僅僅為幾個微米,其厚度就更加微...
加速計和陀螺儀是獲取無人機、蜂窩電話、汽車、接收機和移動物聯網設備中加速和旋轉信息的傳感器選擇。但加速計和陀螺儀都容易有誤差,加速計可能出現噪音、陀螺儀...
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