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微機電系統(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
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人形機器人市場仍然處于研發階段,技術上還沒有完全收斂,各種技術、路線、方式、傳感器的性能、精度、使用數量尚未完全確定。
市場容量持續擴張 從加速度傳感器實現的功能來看,無論是國際知名品牌的手機,還是普通的手機,其主要功能是通過傾斜、晃動等動作來實現用戶界面控制、游戲控制...
許多壓力傳感器應用都需要具有集成信號調理功能的緊湊型 MEMS 器件; 然而,挑戰在于找到一種能夠支持應用的體積和成本要求(包括壓力范圍方面的靈活性)的...
基于MEMS的DMD領域內的不斷創新正在為開發人員提供更多的機會,將基于投影的顯示技術融入到多種針對工業、個人電子器件、可穿戴、數字標牌和企業市場等應用中。
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MEMS測試技術是微機電系統技術的重要組成部分之一,微結構動態特性的測試對MEMS器件的性能及其設計、仿真、制造、以及質量控制和評價等方面均具有重要的意...
微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對于各種表面探測技術都非常有用。例如,它們是近場顯微術的關鍵元素,在近場顯微術中,它們在小撓度狀態下的力學行為被很好的...
2022-11-21 標簽:mems 824 0
亞毫米級的測量系統使傳感器的結構更加緊湊。它的尺寸只有80×30×15mm,可以放入非常狹小的空間。測量值通過RS232接口和虹科TrueDyne傳感器...
作為一項基于固態電子器件和內置半導體制造設施技術,MEMS向狀態監控產品設計師提供了幾個極具吸引力且有價值的優勢。撇開性能因素,我們就來說說狀態監控領域...
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