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微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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mems技術

中國汽車傳感器行業市場概述分析

從國內產業的發展歷程來看，1986年國家將傳感器技術列入國家重點攻關項目，到2000年傳感器技術體系和產業初步建立，國產傳感器技術水平不斷進步。

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迪賽康高性能手持差分探針產品描述

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虹科干貨 | MEMS傳感器“掃盲指南"（上）

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必創科技工業過程無線監測系統解決方案

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關于MEMS和納米技術的綜述

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基于紅外能量的無源傳感新技術

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深入剖析智芯傳感開口封封裝技術

封裝是MEMS制造過程的重要環節，決定了MEMS器件的可靠性和成本。開口封封裝技術是智芯傳感在封裝工藝上的一次創新突破。這一創新技術不僅攻克了MEMS壓...

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什么是熱式測量原理基于微機電系統(MEMS)的量熱傳感器元件（見圖1a）是所有熱式流量傳感器的核心元件，比如燃氣表中使用的傳感器。傳感器元件位于硅芯片表...

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功率放大器在MEMS微結構模態測試研究中的應用

實驗名稱：功率放大器在MEMS微結構模態測試研究中的應用研究方向：元器件測試測試目的：隨著MEMS器件在各個領域中廣泛應用，對微結構進行模態測試獲得其動...

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探索MEMS傳感器制造：晶圓劃片機的關鍵作用

MEMS傳感器晶圓劃片機技術特點與應用分析MEMS（微機電系統）傳感器晶圓劃片機是用于切割MEMS傳感器晶圓的關鍵設備，需滿足高精度、低損傷及工藝適配性...

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電陶爐行業，正迎來一場由紅外測溫傳感器驅動的技術革新。作為國內前沿的MEMS傳感器研發企業，領麥微通過自主研發的高精度紅外測溫傳感器，不僅推動了電陶爐行...

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醫療環境穩定時鐘信號可選擇國芯思辰MEMS振蕩器，替換SiTime

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通過LPCVD制備氮化硅低應力膜

本文介紹了通過LPCVD制備氮化硅低應力膜氮化硅膜在MEMS中應用十分廣泛，可作為支撐層、絕緣層、鈍化層和硬掩膜使用。SiN極耐化學腐蝕，疏水...

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ADIS16260 ADIS16265可編程低功耗陀螺儀技術手冊

ADIS16260和ADIS16265可編程數字陀螺儀在單個緊湊型封裝內集成了業界領先的MEMS和信號處理技術，具有同類MEMS陀螺儀需要全動校準才能達...

2025-05-07 標簽：mems 陀螺儀信號處理 188 0

陶瓷基板在MEMS傳感器封裝中的優勢

當今的科學技術如翩翩起舞的蝴蝶，追求著微型化、集成化及智能化的新境界。隨著微機電系統（Micro-Electro-MechanicalSystem，ME...

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ADXRS290是一款高性能俯仰和滾動（層內雙軸）角速率傳感器（陀螺儀），設計用于穩定應用。 ADXRS290提供±100°/s輸出滿量程性能，靈...

2025-05-07 標簽：傳感器 mems 陀螺儀 178 0

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ADGM1144 是一款寬帶單刀四擲 (SP4T) 開關，使用 ADI 公司的微機電系統 (MEMS) 開關技術制造。該技術可實現小尺寸、寬射頻帶寬、高...

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