三星痛下決心,自研極紫外光(EUV)光阻劑
7月4日，日本正式對(duì)出口南韓的氟聚酰亞胺、光阻劑及高純度氟化氫進(jìn)行管制，8月南韓也可能從白名單國(guó)家除名。三星電子不想讓半導(dǎo)體先進(jìn)制程受日本材料箝制，近日傳出與國(guó)內(nèi)材料業(yè)者，共同投入極紫外光(EUV)光阻劑研發(fā)！
三星光阻劑的3大主要廠商，包括東京應(yīng)化工業(yè)、信越化學(xué)工業(yè)。日本政府對(duì)韓國(guó)實(shí)施出口管制后，3大廠商均停止了供貨。
三星預(yù)計(jì)今年底發(fā)表的7納米芯片，恐受到拖累而延后，而三星明年要推出的旗艦機(jī)也會(huì)受波及，甚至沖擊三星企圖挑戰(zhàn)臺(tái)積電龍頭地位，在2023年將先進(jìn)晶圓代工市占從不到10%沖上25%可能有變數(shù)。
半導(dǎo)體分析師Mark Li認(rèn)為，尋找光阻劑替代供應(yīng)商難度很高，就算找到新供應(yīng)來(lái)源，所有制程和設(shè)計(jì)須重新測(cè)試，至少得花1年時(shí)間才能運(yùn)作。這也許是三星痛下決心，自研光光阻劑的原因。
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原文標(biāo)題：三星自研EUV光刻膠！
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