在线观看www成人影院-在线观看www日本免费网站-在线观看www视频-在线观看操-欧美18在线-欧美1级

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評(píng)論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會(huì)員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識(shí)你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

zpwsmileASML推出248-nm掃描儀,用于0.13微米批量生產(chǎn)

PCB線路板打樣 ? 來(lái)源:zpwsmile ? 作者:zpwsmile ? 2020-02-14 11:21 ? 次閱讀
ASML推出用于0.13微米批量生產(chǎn)的248納米掃描儀

慕尼黑 - 相信193納米光刻仍然至少可以在芯片生產(chǎn)中使用一年ASM Lithography今天推出了一款新的KrF 248-nm步進(jìn)掃描工具,該工具經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可以制造0.13微米設(shè)計(jì)規(guī)則的IC。

新型PAS 5500/750E掃描儀是對(duì)ASML的增強(qiáng)功能。深紫外700平臺(tái),去年推出用于0.15微米芯片生產(chǎn)。根據(jù)AMSL的說(shuō)法,750E掃描儀使用了Carl Zeiss Jena GmbH最新的DUV鏡頭 - Starlith 750--其數(shù)值孔徑為0.7,目前可用的像差最小。

掃描儀也是荷蘭平版印刷公司今天在慕尼黑舉行的Semicon Europa貿(mào)易展上展示了該系統(tǒng),該產(chǎn)品具有業(yè)內(nèi)最小的單機(jī)操作小于30納米的覆蓋能力和45納米的匹配機(jī)器覆蓋。

AMSL認(rèn)為半導(dǎo)體制造商現(xiàn)在已經(jīng)達(dá)到了2000年下半年和明年生產(chǎn)新IC需要0.13微米特征尺寸的程度。然而,問(wèn)題是新的193納米工藝,光罩和光刻膠不可能在那段時(shí)間內(nèi)完全準(zhǔn)備好批量生產(chǎn)。

新的KrF 248-nm掃描儀可以使用成熟的光罩和光刻膠技術(shù),過(guò)去四年一直服務(wù)于現(xiàn)有的DUV光刻技術(shù)。為了將曝光分辨率降至130納米,晶圓廠可以使用相移掩模和光學(xué)鄰近校正(OPC)技術(shù)。

ASML推出其首款A(yù)rF 130-nm掃描儀,即PAS 5500/950,去年用于工藝開發(fā)和早期試生產(chǎn),但該公司預(yù)計(jì)客戶不會(huì)在明年某個(gè)時(shí)候開始將這些系統(tǒng)轉(zhuǎn)移到批量生產(chǎn)線。 ASML還計(jì)劃在2001年中期推出一款新的批量生產(chǎn)130納米掃描儀,稱為PAS 5500/1100,銷售執(zhí)行副總裁Dave Chavoustie表示。他預(yù)測(cè),130納米掃描儀的批量生產(chǎn)預(yù)計(jì)將于2002年開始。

雖然193納米光刻膠和支持技術(shù)仍在繼續(xù)開發(fā)中,但新型KrF 248掃描儀的目標(biāo)是低于0.15微米的分辨率要求。 5500/750E包括一個(gè)Quasar模塊,可實(shí)現(xiàn)多極照明。它還具有雙重曝光能力。

ASML表示,在50 mJ/cm 2 和46個(gè)曝光場(chǎng)的生產(chǎn)條件下,新掃描儀每小時(shí)可生產(chǎn)120個(gè)8英寸晶圓。

掃描儀的發(fā)貨計(jì)劃于今年第二季度開始。 ASML一直在引用該系統(tǒng)的基本價(jià)格約為860萬(wàn)美元。


聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問(wèn)題,請(qǐng)聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
  • 掃描儀
    +關(guān)注

    關(guān)注

    2

    文章

    435

    瀏覽量

    68324
  • 華強(qiáng)pcb線路板打樣

    關(guān)注

    5

    文章

    14629

    瀏覽量

    43763
收藏 人收藏

    評(píng)論

    相關(guān)推薦
    熱點(diǎn)推薦

    遠(yuǎn)程輸入輸出掃描儀說(shuō)明

    電子發(fā)燒友網(wǎng)站提供《遠(yuǎn)程輸入輸出掃描儀說(shuō)明.pdf》資料免費(fèi)下載
    發(fā)表于 03-26 15:06 ?0次下載

    條形碼掃描儀模組在醫(yī)療行業(yè)識(shí)讀領(lǐng)域中的應(yīng)用

    ,條形碼掃描儀模組通過(guò)掃描醫(yī)療器械唯一標(biāo)識(shí)(UDI)條碼,實(shí)現(xiàn)了從生產(chǎn)到使用的全鏈條追溯。在生產(chǎn)環(huán)節(jié),企業(yè)利用UDI條碼掃描器優(yōu)化了倉(cāng)儲(chǔ)管理
    的頭像 發(fā)表于 01-15 16:06 ?401次閱讀
    條形碼<b class='flag-5'>掃描儀</b>模組在醫(yī)療行業(yè)識(shí)讀領(lǐng)域中的應(yīng)用

    微軟已修復(fù)掃描儀USB連接問(wèn)題

    微軟對(duì)其支持文檔予以更新,并宣告已將 Windows 11 版本 24H2 中的掃描儀 USB 連接問(wèn)題處理好。 在此之前,Windows 11 24H2 的 eSCL 協(xié)議出現(xiàn)了故障,設(shè)備在需要
    的頭像 發(fā)表于 12-12 16:55 ?771次閱讀

    國(guó)產(chǎn)純硅振蕩器替換SITime用于三維掃描儀

    國(guó)產(chǎn)純硅振蕩器替換SITime用于三維掃描儀
    的頭像 發(fā)表于 12-04 10:18 ?459次閱讀
    國(guó)產(chǎn)純硅振蕩器替換SITime<b class='flag-5'>用于</b>三維<b class='flag-5'>掃描儀</b>中

    如何將三維激光掃描儀與BIM結(jié)合使用

    將三維激光掃描儀與BIM(建筑信息模型)結(jié)合使用,可以充分發(fā)揮兩者的優(yōu)勢(shì),提高工程測(cè)量的精度和效率。以下是將三維激光掃描儀與BIM結(jié)合使用的具體步驟和注意事項(xiàng): 一、前期準(zhǔn)備 確定掃描目標(biāo) : 明確
    的頭像 發(fā)表于 11-28 10:18 ?1054次閱讀

    三維激光掃描儀使用技巧 三維激光掃描儀測(cè)量精度分析

    三維激光掃描儀使用技巧 三維激光掃描儀的使用技巧涵蓋了多個(gè)方面,旨在確保掃描過(guò)程的準(zhǔn)確性和高效性。以下是一些關(guān)鍵的使用技巧: 穩(wěn)定操作環(huán)境 :確保掃描過(guò)程中有一個(gè)穩(wěn)定的操作環(huán)境,避免震
    的頭像 發(fā)表于 11-28 10:07 ?1378次閱讀

    三維激光掃描儀應(yīng)用領(lǐng)域 三維激光掃描儀與傳統(tǒng)測(cè)量工具比較

    三維激光掃描儀應(yīng)用領(lǐng)域 三維激光掃描儀因其高精度、高效率和非接觸式的測(cè)量方式,在多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用: 測(cè)繪領(lǐng)域 :用于地形、公路鐵路、河道及建筑基地的測(cè)繪,提供精確的空間數(shù)據(jù)。 工業(yè)測(cè)量 :在
    的頭像 發(fā)表于 11-28 10:04 ?1195次閱讀

    大幅掃描儀掃描地圖怎么操作

    1. 準(zhǔn)備掃描儀和地圖 在開始掃描之前,確保您的大幅掃描儀已經(jīng)安裝并正確配置。您可能需要安裝特定的驅(qū)動(dòng)程序或軟件,以便掃描儀能夠與您的計(jì)算機(jī)通信。 檢查
    的頭像 發(fā)表于 10-14 15:47 ?1691次閱讀

    蔡司激光三維掃描儀有效掃描金屬材料

    蔡司激光三維掃描儀因其高精度和多功能性,在工業(yè)檢測(cè)、逆向工程、質(zhì)量控制等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。對(duì)于金屬材料的掃描,用戶常常關(guān)心的是ZEISS激光三維掃描儀是否能夠有效地完成這項(xiàng)任務(wù)。本文蔡司代理-三本
    的頭像 發(fā)表于 09-26 15:08 ?823次閱讀
    蔡司激光三維<b class='flag-5'>掃描儀</b>有效<b class='flag-5'>掃描</b>金屬材料

    電磁干擾掃描儀與屏蔽箱的完美融合:打造高效精準(zhǔn)的EMI測(cè)試方案

    應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn),我們推出了電磁干擾掃描儀與高性能屏蔽箱的組合式解決方案。此方案不僅融合了掃描儀的精準(zhǔn)定位能力,能夠迅速鎖定電磁干擾源頭,還借助屏蔽箱構(gòu)建了一個(gè)低噪聲、
    的頭像 發(fā)表于 09-14 08:07 ?905次閱讀
    電磁干擾<b class='flag-5'>掃描儀</b>與屏蔽箱的完美融合:打造高效精準(zhǔn)的EMI測(cè)試方案

    何為電磁干擾(EMI)掃描儀,哪里需要它?

    什么是電磁干擾掃描儀?電磁干擾掃描儀(Electromagneticinterferencescanner)又稱EMI掃描儀,是屬于電磁兼容(EMC)測(cè)所試設(shè)備,具備干擾頻譜分析、定頻干擾成像功能
    的頭像 發(fā)表于 08-30 13:02 ?819次閱讀
    何為電磁干擾(EMI)<b class='flag-5'>掃描儀</b>,哪里需要它?

    如何選擇電磁干擾(EMI)掃描儀,看看這幾點(diǎn)

    在上期講完了電磁干擾(EMI)掃描儀的定義和應(yīng)用以后,我們應(yīng)該如何去選擇一款合適的電磁干擾(EMI)掃描儀?在當(dāng)今復(fù)雜的電子設(shè)備環(huán)境中,選擇合適的電磁干擾(EMI)掃描儀對(duì)于確保產(chǎn)品質(zhì)量、符合標(biāo)準(zhǔn)
    的頭像 發(fā)表于 08-30 13:02 ?989次閱讀
    如何選擇電磁干擾(EMI)<b class='flag-5'>掃描儀</b>,看看這幾點(diǎn)

    lidar激光雷達(dá)掃描儀有什么用

    LiDAR(Light Detection and Ranging,激光探測(cè)與測(cè)距)是一種利用激光技術(shù)進(jìn)行距離測(cè)量和成像的技術(shù)。LiDAR激光雷達(dá)掃描儀具有高精度、高分辨率、快速掃描等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于
    的頭像 發(fā)表于 08-29 16:58 ?1783次閱讀

    MES系統(tǒng)如何支持多品種小批量生產(chǎn)

    ??MES系統(tǒng)(制造執(zhí)行系統(tǒng))在多品種小批量生產(chǎn)環(huán)境中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它通過(guò)一系列先進(jìn)的技術(shù)手段,提高了生產(chǎn)線的靈活性和效率,從而有效地支持了多品種小批量生產(chǎn)
    的頭像 發(fā)表于 08-22 18:09 ?1073次閱讀
    MES系統(tǒng)如何支持多品種小<b class='flag-5'>批量生產(chǎn)</b>

    英特爾3nm制程工藝“Intel 3”投入大批量生產(chǎn)

    據(jù)外媒最新報(bào)道,全球知名的處理器大廠英特爾在周三宣布了一個(gè)重要的里程碑:其先進(jìn)的3nm級(jí)制程工藝技術(shù)“Intel 3”已在兩個(gè)工廠正式投入大批量生產(chǎn)。這一技術(shù)的突破,無(wú)疑將為英特爾在超高性能計(jì)算領(lǐng)域帶來(lái)顯著優(yōu)勢(shì)。
    的頭像 發(fā)表于 06-21 09:31 ?950次閱讀
    主站蜘蛛池模板: 日本x色视频 | 手机看片福利日韩国产 | 色婷婷激情综合 | 99在线热播精品免费 | 欧美成网站 | 男女视频在线看 | 无毒不卡在线播放 | 天堂资源www天堂在线 | 欧美成人午夜精品免费福利 | 一国产大片在线观看 | 欧美三级影院 | 成人在线播放av | 一区二区三区www | 天天在线天天在线天天影视 | 夜色资源站www国产在线观看 | 一区二区三区国模大胆 | 嫩草影院网站入口 | 欧美色亚洲图 | 欧洲性freefree大白屁股 | 免费看欧美一级特黄a大片 免费看欧美一级特黄a大片一 | www.夜夜| 有码日韩 | 亚洲国产精品久久久久婷婷老年 | 男男gay高h文 | 99色网站| ww7788色淫网站女女免费 | 校园激情综合网 | 狠狠色噜噜狠狠狠狠狠色综合久久 | 手机在线免费观看视频 | 五月激情六月丁香 | 午夜看片在线 | 四虎美女 | 黄色二级视频 | 日本资源在线 | 欧美系列在线观看 | 亚洲午夜视频在线观看 | 夜夜爽影院| 亚洲一区二区免费看 | 国产性老妇女做爰在线 | 午夜大片免费完整在线看 | 日本xxxx色视频在线观看 |