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開發頂級光刻機的困難 頂級光刻機有多難搞?

如意 ? 來源:百家號 ? 作者:Tech道觀 ? 2020-07-02 09:38 ? 次閱讀

光刻機可以說人類工業、機械光學的技術集大成的科技創新之作,荷蘭最新極紫外光EUV光刻機舉例,其內部精密零件多達10萬個,可以說光刻機比汽車零件精細數十倍!

頂級光刻機有多難搞?美國曾有一位工程師感嘆道:ASML的光刻機,光一個零件他就調整了10年!甚至ASML說:“就算開放圖紙,我們中國也造不出光刻機來!”

而且光刻機造出來了,賣給客戶了,光調試就要調試一年,才可以正式開工。

ASML光刻機的供應商多達5000家,在ASML光刻機的供應鏈里,荷蘭用到了大量他國核心技術和設備,比如蔡司鏡頭技術出自德國、復合材料由日本提供、工業精密機床技術靠瑞典支持,而軟件技術和電源則來自美國等等。可以這么說,ASML的光刻機技術,是集采了世界各國之長,匯聚了全球頂尖技術于一身而誕生的—— 它的背后,是多個國家的先進技術的集合體!甚至可以說是全世界最先進技術的集大成者。

我國純靠自己一國之力搞光刻機研發大家可以想象有多難!鏡頭、材料、機床、軟件、電源、光源……每一項都需要我們自己造。但是我們中國人要對國家有信心!

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