在线观看www成人影院-在线观看www日本免费网站-在线观看www视频-在线观看操-欧美18在线-欧美1级

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認識你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

石墨烯助力傳統(tǒng)MEMS器件的性能得到大幅提升

電子設(shè)計 ? 來源:電子設(shè)計 ? 作者:電子設(shè)計 ? 2020-12-26 00:36 ? 次閱讀

據(jù)麥姆斯咨詢報道,石墨烯材料領(lǐng)先供應(yīng)商Graphenea公司英飛凌(Infineon Technologies)、WITec、亞琛工業(yè)大學(xué)(RWTH Aachen University)和Simune Atomistics等工業(yè)和學(xué)術(shù)界伙伴合作,宣布成功完成了NanoGraM項目,該項目專注于基于石墨烯的NEMS / MEMS(納米/微機電)器件研究。NanoGraM項目為未來的潛在應(yīng)用重點關(guān)注的三類特定器件包括:石墨烯麥克風(fēng)、石墨烯膜壓力傳感器和石墨烯膜霍爾傳感器。

這些石墨烯器件的目標(biāo)市場包括便攜式電子產(chǎn)品智能手機、筆記本電腦)、汽車、工業(yè)以及智能家居等。

MEMS麥克風(fēng)芯片全球主要供應(yīng)商英飛凌,在其申請的一篇專利中介紹了這種應(yīng)用石墨烯膜的MEMS麥克風(fēng)/揚聲器。

頂部包括石墨烯薄膜的MEMS麥克風(fēng)設(shè)計

傳統(tǒng)MSMS麥克風(fēng)/微型揚聲器通常以硅技術(shù)進行制造。硅微加工的麥克風(fēng)包括在聲場中移動的柔性薄膜以及被稱作背板的靜態(tài)穿孔電極的電容換能器。在壓力過度的情況下,該薄膜會經(jīng)受到高達10bar的壓力差。在該情況下,通常的薄膜會由于其斷裂強度過低而失效。

為了解決硅麥克風(fēng)薄膜中的壓力過度的問題,可在麥克風(fēng)前部插入阻尼墊圈,然而這會引入額外的不期望出現(xiàn)的噪聲,此外,還可能增加麥克風(fēng)的前部體積。解決壓力過度問題的另外的可能方式是經(jīng)由彈簧支撐的薄膜或者通過提供排氣通道來提供透氣,不過,這需要特殊的設(shè)計以及結(jié)構(gòu)的低應(yīng)力梯度。

石墨烯的機械特性對于生產(chǎn)非常高柔度和大斷裂強度的麥克風(fēng)薄膜而言是有利的,由此允許設(shè)計相對任何大行程位移均具有魯棒性的高靈敏度麥克風(fēng)。另一方面,微型揚聲器可以從高柔度所獲得的益處在于,可以減少用于獲得高行程的驅(qū)動電壓,同時高的斷裂強度降低了故 障風(fēng)險并且實現(xiàn)了高耐久性??梢酝ㄟ^形成兩個或更多單層石墨烯膜的疊層,而增大石墨烯薄膜的強度。

從下表石墨烯與硅進行比較時的機械屬性的表格可以看出,在楊氏模量、斷裂強度、泊松比(Poisson ratio)和密度方面,石墨烯勝過硅。因此,出于以上原因,在以MEMS技術(shù)實現(xiàn)麥克風(fēng)/微型揚聲器時使用石墨烯作為薄膜材料是有利的。

石墨烯麥克風(fēng)展現(xiàn)出了超高的靈敏度,以及覆蓋從音頻到超聲波頻段的運行頻譜,這可以帶來很多新穎的功能。

對于壓力傳感器和霍爾傳感器,應(yīng)用石墨烯材料的預(yù)期優(yōu)勢包括更高的靈敏度(高達100倍)、堅固性(高達5倍)、增強的信噪比以及避免工藝中的有害材料等。

石墨烯NEMS/MEMS傳感器結(jié)合硅技術(shù)將實現(xiàn)新的智能系統(tǒng),增強人類的福祉、食品安全、交通安全、污染監(jiān)控以及國土安全。這項研究作為NanoGraM項目的一部分,為工業(yè)NEMS/MEMS制造商和參與的中小企業(yè)帶來了決定性的技術(shù)領(lǐng)先優(yōu)勢。

Graphenea作為石墨烯供應(yīng)商,通過開發(fā)在NEMS/MEMS器件的空腔和開孔上懸浮CVD單層和多層石墨烯的半干(semi-dry)轉(zhuǎn)移工藝來支持該項目的研究。Graphenea的工藝可使石墨烯層成功地懸浮在直徑達500微米的開孔上。這一系列研究幫助Graphenea推出了一類新產(chǎn)品:在腔體上懸浮的單層石墨烯。

懸浮在腔體上的單層石墨烯

該項目提交了三份專利申請和至少七篇科學(xué)論文出版,還有更多研究成果正在整理發(fā)布中。除了制造之外,大面積石墨烯膜的表征也被提升到了新的高度。

該項目持續(xù)了3年,由德國(BMBF)和西班牙巴斯克自治區(qū)共同資助,項目總金額約為196萬歐元。

審核編輯:符乾江
聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
  • 傳感器
    +關(guān)注

    關(guān)注

    2552

    文章

    51366

    瀏覽量

    755729
  • mems
    +關(guān)注

    關(guān)注

    129

    文章

    3957

    瀏覽量

    190946
  • 石墨烯
    +關(guān)注

    關(guān)注

    54

    文章

    1565

    瀏覽量

    79898
收藏 人收藏

    評論

    相關(guān)推薦

    石墨的分類

    石墨是一種由碳原子以sp2雜化軌道構(gòu)成的二維納米材料,具有獨特的六角蜂窩狀晶格結(jié)構(gòu)。根據(jù)不同的分類標(biāo)準(zhǔn),石墨可以分為多種類型: 按層數(shù)分類: 單層
    的頭像 發(fā)表于 01-14 14:37 ?128次閱讀

    華中科技大學(xué):通過自組裝單層加強石墨器件的熱管理

    二維石墨因其卓越的電學(xué)、光學(xué)和熱學(xué)特性,在后摩爾時代成為硅的有力競爭者。然而,當(dāng)石墨與無定形基底耦合時,其平面內(nèi)熱導(dǎo)率會發(fā)生強烈衰減。同時,石墨
    的頭像 發(fā)表于 12-17 11:23 ?295次閱讀
    華中科技大學(xué):通過自組裝單層加強<b class='flag-5'>石墨</b><b class='flag-5'>烯</b><b class='flag-5'>器件</b>的熱管理

    石墨化學(xué)鍍銅對放電等離子燒結(jié)石墨增強鋁基復(fù)合材料組織和性能的影響

    鋁基復(fù)合材料具有強度高、耐磨性能良好、尺寸穩(wěn)定性佳等特點,在航空航天、慣性導(dǎo)航、?紅外探測等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。鋁基復(fù)合材料的增強體通常為碳化硅顆粒、碳纖維、氧化鋯等。?石墨是2004
    的頭像 發(fā)表于 11-27 09:27 ?410次閱讀
    <b class='flag-5'>石墨</b><b class='flag-5'>烯</b>化學(xué)鍍銅對放電等離子燒結(jié)<b class='flag-5'>石墨</b><b class='flag-5'>烯</b>增強鋁基復(fù)合材料組織和<b class='flag-5'>性能</b>的影響

    石墨發(fā)熱油墨為汽車后視鏡帶來智能電加熱保護

    Haydale石墨發(fā)熱油墨采用了先進的石墨納米材料,這是一種極為強大的導(dǎo)電材料。通過將石墨
    發(fā)表于 11-15 15:55

    石墨和白石墨(氮化硼)的作用區(qū)別

    石墨石墨是一種由碳原子以sp2雜化軌道組成六角型呈蜂巢晶格的二維碳納米材料。這種獨特的結(jié)構(gòu)賦予了石墨
    的頭像 發(fā)表于 10-06 08:01 ?528次閱讀
    <b class='flag-5'>石墨</b><b class='flag-5'>烯</b>和白<b class='flag-5'>石墨</b><b class='flag-5'>烯</b>(氮化硼)的作用區(qū)別

    什么是石墨和白石墨?

    石墨石墨是一種由碳原子以sp2雜化軌道組成六角型呈蜂巢晶格的二維碳納米材料。這種獨特的結(jié)構(gòu)賦予了石墨
    的頭像 發(fā)表于 09-30 08:02 ?440次閱讀
    什么是<b class='flag-5'>石墨</b><b class='flag-5'>烯</b>和白<b class='flag-5'>石墨</b><b class='flag-5'>烯</b>?

    石墨在激光器中的應(yīng)用

    石墨在激光器中的應(yīng)用是一個廣泛而深入的研究領(lǐng)域,其獨特的電學(xué)、熱學(xué)和光學(xué)性質(zhì)為激光器的性能提升和應(yīng)用拓展提供了新的可能性。以下將詳細探討石墨
    的頭像 發(fā)表于 08-09 10:47 ?677次閱讀

    石墨電池的優(yōu)缺點 鋰電池跟石墨電池有什么區(qū)別

    石墨電池是一種新型的電池技術(shù),其核心特點是在電極材料中加入了石墨,以提高電池的性能
    的頭像 發(fā)表于 04-28 16:40 ?2979次閱讀

    石墨/硅基異質(zhì)集成光電子器件綜述

    石墨/硅基異質(zhì)集成的光子器件研究在近年來取得了巨大進展,因石墨所具有的諸多獨特的物理性質(zhì)如超高載流子遷移率、超高非線性系數(shù)等,
    的頭像 發(fā)表于 04-25 09:11 ?1128次閱讀
    <b class='flag-5'>石墨</b><b class='flag-5'>烯</b>/硅基異質(zhì)集成光電子<b class='flag-5'>器件</b>綜述

    王中林院士團隊,石墨器件新突破!

    傳統(tǒng)半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展面臨著尺寸持續(xù)縮小的技術(shù)瓶頸,新興的石墨等二維材料基于其納米級厚度和極高的載流子遷移率一直備受關(guān)注。
    的頭像 發(fā)表于 03-01 16:35 ?843次閱讀
    王中林院士團隊,<b class='flag-5'>石墨</b><b class='flag-5'>烯</b><b class='flag-5'>器件</b>新突破!

    石墨石墨有什么區(qū)別

    則是由多層的石墨疊加而成的。2、厚度不同:石墨是單層碳原子,石墨石墨
    的頭像 發(fā)表于 02-27 18:52 ?1w次閱讀
    <b class='flag-5'>石墨</b>和<b class='flag-5'>石墨</b><b class='flag-5'>烯</b>有什么區(qū)別

    石墨電容

    探索未來能量儲存新篇章:高性能4.2V 5500F 2.6Ah石墨電容推薦 隨著科技的飛速發(fā)展,我們對于能量儲存的需求也日益增長。在眾多的儲能元件中,石墨
    發(fā)表于 02-21 20:28

    石墨是什么材料有什么功能 石墨電池與鉛酸電池哪個好

    遷移率,石墨可以用于制作高性能的電子器件,如晶體管、顯示屏等。與傳統(tǒng)的硅材料相比,石墨
    的頭像 發(fā)表于 02-20 13:39 ?1485次閱讀

    石墨電池與普通電池有什么區(qū)別

    石墨電池與普通電池有什么區(qū)別 石墨電池是一種新興的電池技術(shù),與傳統(tǒng)的普通電池在結(jié)構(gòu)、材料及性能
    的頭像 發(fā)表于 02-02 17:34 ?4421次閱讀

    石墨是什么材料 石墨電池與鉛酸電池哪個好

    石墨是一種由碳原子形成的單層二維晶體,具有許多令人興奮的特性和潛在的應(yīng)用。它的發(fā)現(xiàn)被認為是開創(chuàng)了新一代材料科學(xué)的大門。石墨的結(jié)構(gòu)是由一個由碳原子組成的六角形網(wǎng)格形成的平面。由于
    的頭像 發(fā)表于 01-25 13:38 ?1499次閱讀
    主站蜘蛛池模板: 男男h啪肉np文总受 男男h全肉耽污 | 日本特级淫片免费看 | 222在线视频免费观看 | 伊人黄色网 | 你懂的网站在线播放 | 天堂精品在线 | 亚洲欧美成人在线 | 1000部又爽又黄的做黄禁片 | 成人a大片高清在线观看 | 色哥网站 | 日本69sex护士xxx | 中文字幕一区二区三区不卡 | 午夜视频福利 | 亚洲一区二区三区影院 | h黄视频| 人人做人人澡人人人爽 | 韩国三级日本三级在线观看 | 天天干夜啪 | 一级大片免费看 | 在线观看高清视频 | 午夜欧美视频 | 2021天天操 | 天天摸天天草 | 国产黄视频网站 | 在线天堂bt种子 | xxxx人成高清免费图片 | 不卡视频一区二区 | 女人被两根一起进3p在线观看 | 欧美成人免费夜夜黄啪啪 | 国产在线免 | 亚洲一区小说区中文字幕 | 521色香蕉网在线观看免费 | 成人综合婷婷国产精品久久免费 | 男人的午夜天堂 | 99久在线 | 婷婷在线综合 | 综合视频网 | 99在线国产 | xxxxxx日本老师hd68| 免费一级网站 | 激情五月视频 |