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探究光刻機(jī)微影技術(shù)是通過什么實(shí)現(xiàn)的?

旺材芯片 ? 來源:ASML ? 作者:ASML ? 2021-03-27 10:00 ? 次閱讀

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編輯:jq

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原文標(biāo)題:干貨 | 光刻機(jī)微影技術(shù)是通過什么實(shí)現(xiàn)的?

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    光刻機(jī)的工作原理和分類

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    一文看懂光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)及雙工件臺(tái)技術(shù)

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    的頭像 發(fā)表于 11-22 09:09 ?4189次閱讀
    一文看懂<b class='flag-5'>光刻機(jī)</b>的結(jié)構(gòu)及雙工件臺(tái)<b class='flag-5'>技術(shù)</b>

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    的頭像 發(fā)表于 11-21 13:43 ?1285次閱讀
    一文了解<b class='flag-5'>光刻機(jī)</b>成像系統(tǒng)及光學(xué)鍍膜<b class='flag-5'>技術(shù)</b>

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    計(jì)算機(jī)圖形軟件設(shè)計(jì)通道,?并將設(shè)計(jì)圖形轉(zhuǎn)換為圖形文件。?這些設(shè)計(jì)圖形隨后被用于指導(dǎo)掩膜版的制作。? 在制版階段,?設(shè)計(jì)好的圖形通過直寫光刻設(shè)備(?如激光直寫光刻機(jī)或電子束
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