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砷化鎵GaAs在光電和射頻領(lǐng)域中的應(yīng)用與發(fā)展

射頻美學(xué) ? 來源:天下觀潮 ? 作者:天下觀潮 ? 2022-11-30 09:35 ? 次閱讀

作為第二代半導(dǎo)體的“扛把子”,砷化鎵(GaAs)具有高頻率、高電子遷移率、高輸出功率、高線性以及低噪聲等特點,在光電射頻領(lǐng)域有著非常廣泛的應(yīng)用。

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砷化鎵是直接帶隙材料,導(dǎo)帶底和價帶頂在K空間(K空間即傅里葉變化的頻率空間)同一位置,電子吸收能量后可以直接躍遷進入激發(fā)態(tài),無需聲子參與;也可以直接從導(dǎo)帶下落到價帶,因此載流子壽命很短,電子和空穴直接復(fù)合可以發(fā)光。

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所以砷化鎵可以用來制作LED(發(fā)光二極管),主要是黃光、紅光和紅外光。氮化鎵禁帶更寬,主要用來發(fā)藍光、綠光和紫外光。

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砷化鎵是發(fā)光材料,加上泵浦源和諧振腔,即可選頻制成激光器。650nm-1300nm波長的低功率激光器都可以用砷化鎵材料設(shè)計,典型代表是VCSEL(垂直腔表面發(fā)射激光器),廣泛應(yīng)用在短距離數(shù)據(jù)中心光纖通信,TOF人臉識別等。

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GaAs 的電子遷移率是硅的五倍,HBT的Ft高達45GHz,0.25um E mode pHEMT的Ft更是高達70GHz,因此GaAs非常適合設(shè)計Sub-7GHz的射頻器件。蜂窩和WLAN PA常用GaAs HBT設(shè)計;開關(guān)、LNA等則采用pHEMT工藝。

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除了LED、VCSEL、RF Device之外,GaAs憑借其優(yōu)異性能在光電探測、調(diào)制驅(qū)動、衛(wèi)星電視等領(lǐng)域也有大量應(yīng)用,但主要還是靠“三巨頭“出貨。

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GaAs一年出貨約260萬片(折合6寸),LED約占四成,RF Device約占三成, VCSEL約占8%。從單片價格來看,則是VCSEL>RF Device>LED,因此從銷售額角度統(tǒng)計可能會是另一種結(jié)論。

不同的產(chǎn)品需要用不同的外延片加工。整個砷化鎵產(chǎn)業(yè)鏈可以細分為襯底、外延、晶圓代工、芯片設(shè)計四個環(huán)節(jié)。至于封測,LGA/QFN都可以做,和硅基產(chǎn)品沒明顯區(qū)別。

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襯底(Substrate)是產(chǎn)業(yè)鏈的源頭,襯底廠采購金屬鎵和高純砷后,采用 LEC 法(液封直拉法,F(xiàn)reiberger采用)、 HB 法(水平布里奇曼法)、 VB 法(垂直布里奇曼法,Sumitomo采用)或 VGF 法(垂直梯度凝固法,AXT和Freiberger采用)等,生長出砷化鎵晶體,切片研磨拋光后賣給外延廠。主流的砷化鎵襯底廠主要有德國費里伯格(Freiberger)、日本住友電氣(Sumitomo)、北京通美(AXT)、英國IQE、日本同和(Dowa)、云南鍺業(yè)等。臺灣企業(yè)一般翻譯為基板。

外延廠(Epi)采購襯底后,采用MOCVD法(金屬有機化學(xué)氣相沉積,主流方案)或MBE法(分子束外延)在襯底上一層一層地長出摻雜和厚度都不同的薄膜,故而臺灣企業(yè)翻譯為磊晶(磊晶圓薄膜),非常直觀形象。大陸企業(yè)翻譯為“外延”,更注重“意”和“神”,頗有嚴復(fù)先生“信達雅”的遺風(fēng)。主流的外延片廠主要有英國IQE、臺灣全新光電、日本住友化學(xué)、臺灣英特磊等。臺灣聯(lián)亞光電專注光電領(lǐng)域。

晶圓代工廠(Fab)與芯片廠和終端廠關(guān)系較緊密,也更為人所熟知。晶圓廠采購?fù)庋悠?,按照芯片廠的設(shè)計進行光刻,加工出所需要的電路。根據(jù)所用襯底和工序的不同,迭代出不同的工藝。穩(wěn)懋占據(jù)砷化鎵代工公開市場的七成以上份額,優(yōu)異的可靠性和一致性獲得幾乎所有芯片廠和終端廠的認可,三座fab均通過IATF16949車規(guī)認證。宏捷科的工藝來自美企射頻大廠Skyworks,除了給Skyworks代工之外,也接受其他芯片設(shè)計廠的訂單。環(huán)宇通訊運營在美國,4寸線成本較高,運營吃力,目前主要以技術(shù)授權(quán)形式參與產(chǎn)業(yè)鏈。三安的技術(shù)授權(quán)就來自GCS,早年更是準(zhǔn)備收購GCS,被美國外國投資委員會否掉后轉(zhuǎn)而合資成立公司,現(xiàn)已獨立代工砷化鎵,在LED領(lǐng)域份額很高。承芯的技術(shù)授權(quán)也來自GCS,當(dāng)前以VCSEL為主。聯(lián)穎來自聯(lián)電的Fab 6,除了GaAs之外還代工CMOS/BCD/SAW等另類工藝。福聯(lián)的技術(shù)授權(quán)來自聯(lián)穎,雖成立較晚,但HBT和0.25um E/D Mode pHEMT工藝均已成熟。立昂東芯自主研發(fā)了GaAs工藝,已獲得不少芯片廠的訂單,正在積極擴產(chǎn)。海威華芯技術(shù)來自中電29所,專注于pHEMT工藝,HBT工藝份額較少。

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產(chǎn)業(yè)鏈接總結(jié)如下。

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GaAs主要有HBT和pHEMT兩種技術(shù)。HBT是縱向器件,對光刻精度要求不高,一般為1-3um,將發(fā)射極改用InGaP材料可以形成異質(zhì)結(jié),從而使發(fā)射區(qū)輕摻雜,基區(qū)重摻雜,提高載流子注入效率,減小基極電阻,發(fā)射結(jié)電容,提高震蕩頻率,增加厄利電壓。pHEMT是橫向器件,器件性能受柵寬制約,需要更高的光刻精度,一般為0.5-0.15um,因為成本較高,所以在PA的應(yīng)用不如HBT多,主要用在LNA和開關(guān)上。

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(能堅持看到這里的讀者絕對是對技術(shù)、對產(chǎn)業(yè)都有濃厚的興趣,能靜下心來研究,接下來才是本文最有價值的內(nèi)容。)

因為pHEMT工藝吃光刻,成本較高,因此在射頻領(lǐng)域HBT是絕對的王者。射頻PA基本都采用InGaP/GaAs HBT工藝加工,16層光刻,有濕法刻蝕和干法刻蝕之分。

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頭部的三家芯片廠都是IDM模式。Skyworks在美國有兩座6寸廠,并會在穩(wěn)懋和宏捷科代工。Qorvo有多座4/6/8寸晶圓廠,產(chǎn)能充足,自給自足。Broadcom有兩座6寸廠,仍會找穩(wěn)懋代工。

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高通是fabless模式,RF360設(shè)計的MMMBPA和LPAMiD/LPAMiF基本都在穩(wěn)懋生產(chǎn)。村田的LPAMiD除了穩(wěn)懋代工之外,也會和Skyworks合作。海思在制裁之前陪著三安打磨工藝。唯捷創(chuàng)芯以PA業(yè)務(wù)為主,MMMB PA、TXM、LPAMiF、Wi-Fi FEM主要在穩(wěn)懋生產(chǎn),為了擴產(chǎn)和降本也會去宏捷科。飛驤和穩(wěn)懋有過一段不愉快的往事,MMMB PA、TXM、LPAMiF、Wi-Fi FEM現(xiàn)在主要在三安生產(chǎn),在宏捷科和聯(lián)穎也有擴產(chǎn)。昂瑞微的Phase 5NMMMB PA可謂一絕,另有MMMB PA、TXM、LPAMiF產(chǎn)品,主要在穩(wěn)懋、聯(lián)穎和立昂生產(chǎn)?;壑俏⒁訳HB LPAMiF一戰(zhàn)成名,MMMB PA和TXM等主要在穩(wěn)懋代工,與三安也開始合作。銳石后發(fā)先至,MMMB PA、TXM、LPAMiF、Wi-Fi FEM布局較快,主要在穩(wěn)懋、三安和宏捷科代工。卓勝以接收模組和分立器件切入,Wi-FiFEM和LPAMiF進展神速,主要在福聯(lián)和聯(lián)穎生產(chǎn)。

在需求側(cè),以國內(nèi)手機物聯(lián)網(wǎng)模塊和網(wǎng)通路由等產(chǎn)品為基礎(chǔ),die size按照主流型號均值估算,射頻芯片國內(nèi)月需求約25,000片6寸等效GaAs HBT晶圓。考慮海外蘋果和三星支持頻段更多,GaAs需求量更大,預(yù)估海外需求約15,000片。Wi-Fi FEM可以采用SiGe設(shè)計,性能和功耗都很好,對GaAs需求影響不大。因此全球GaAs HBT總需求約40,000片6寸等效晶圓。

這里需要更正公眾的一個認知,射頻不是一個頻段(Band)用一顆PA,而是一段頻段用一顆PA,常規(guī)做法是0.6-1GHz一顆,1.8-2.2GHz一顆,2.3-2.7GHz一顆,即通常說的低頻(LB),中頻(MB),高頻(HB)。至于新增的n77/78,因為是一段頻段,覆蓋3.3-4.2GHz,也是一顆PA,n79單獨一顆。而Wi-Fi則分為2.4G和5G,分別用一顆。根據(jù)設(shè)備支持的MIMO(多入多出)數(shù)量,會適當(dāng)增加PA顆數(shù)。當(dāng)然,在終端看到的時候,sub-3G的經(jīng)常會集成在一起變成一顆大PA芯片,sub-6g會集成在一起變成一顆大PA芯片。

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在供給側(cè),公開代工廠GaAs總產(chǎn)能約14萬六寸片,GaAs HBT約46,000片足夠滿足全球需求。

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另外Skyworks、Qorvo、Broadcom自有工廠也可以生產(chǎn)GaAs HBT,公開代工廠都在大力擴廠,未來GaAs HBT很可能出現(xiàn)產(chǎn)能過剩,雖然mini LED和VCSEL需求增長迅速,但體量短期仍無法和射頻PA相比。

審核編輯:郭婷

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原文標(biāo)題:砷化鎵GaAs HBT產(chǎn)業(yè)鏈與射頻PA

文章出處:【微信號:射頻美學(xué),微信公眾號:射頻美學(xué)】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請注明出處。

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