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N56系列直線壓電馬達,可選1至6維運動,行程可達50mm!

楊明遠(yuǎn) ? 來源:楊明遠(yuǎn) ? 作者:楊明遠(yuǎn) ? 2023-11-09 09:28 ? 次閱讀

N56系列直線壓電馬達是采用壓電微驅(qū)動技術(shù),即利用壓電微位移致動器實現(xiàn)高精度定位和運動的技術(shù),將壓電陶瓷在一定電場作用下的微變形量,經(jīng)過結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換,輸出宏動直線毫米級行程。

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直線壓電馬達原理

N56系列壓電馬達具有小體積、高精度、大行程等優(yōu)勢。它的行程可達50mm,速度可達3mm/s,分辨率可達0.05μm,具有斷電自鎖功能。可選配光柵傳感器作為閉環(huán)控制傳感器,完成高精度定位。該系列還具有適用于在真空環(huán)境中使用的真空版本。同時,芯明天還可提供定制服務(wù),以滿足各類行程、精度要求。

wKgZomVMNb6AfEPcADABxRngt_E161.jpg

運動效果圖

N56系列壓電馬達特點

1.行程可選10mm、20mm、30mm、50mm

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2.斷電自鎖

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3.可選1至6維運動版本

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4.可選真空版本,可選10^-6或10^-9mbar版本

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產(chǎn)品應(yīng)用

N56系列直線壓電馬達可廣泛應(yīng)用在小負(fù)載、大行程納米定位、科學(xué)研究、光纖對接、微細(xì)加工、原子力顯微鏡、半導(dǎo)體的精密定位和微納操作等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

型號 N56系列
運動自由度 X
選配傳感器 光柵傳感器
標(biāo)稱行程范圍 10至50mm可選
速度 3mm/s
開環(huán)分辨率 0.005μm
閉環(huán)分辨率 <1μm
最大出力 3N
閉環(huán)重復(fù)度 0.1μm
推力(主動) 3N
保持力(斷電自鎖) 4.5N
負(fù)載能力(水平方向) 0.5kg
負(fù)載能力(任意方向) 0.1kg
軸向剛度 1.5N/μm
側(cè)向剛度 9N/μm
工作溫度 0~50℃
電纜長度 1.5m
材質(zhì) 鋁,不銹鋼

配套控制器

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的E53.D1E/C1K-J壓電控制器非常適用于驅(qū)動N56系列壓電馬達,它是單通道壓電控制器,尺寸僅105×103×30.1mm^3,采用數(shù)字控制,外觀體積小巧,結(jié)構(gòu)緊湊、易于集成。

wKgaomVMNcCASyF_AABYYI9jMQI439.jpg

審核編輯 黃宇

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