憑借高亮度、高可靠性、低功耗、可實現(xiàn)無縫拼接等優(yōu)勢，Micro LED成為當今新型顯示技術(shù)的熱點。

未來，在透明、柔性、車載、超高清大屏幕、全息投影等領(lǐng)域，Micro LED均具有廣闊的市場應(yīng)用前景。

12月7日下午-12月8日，由高工LED、高工產(chǎn)業(yè)研究院（GGII）主辦，東山精密總冠名的以“微顯巨變，再現(xiàn)光芒”為主題的2023高工LED年會暨十五周年慶典在深圳機場凱悅酒店盛大舉行。

作為一年一度的LED行業(yè)盛會，本次年會共設(shè)4大專場，分別由明微電子、兆元光電、凱格精機、諾瓦星云冠名，議題覆蓋芯片、封裝、照明、顯示、設(shè)備、驅(qū)動等LED全產(chǎn)業(yè)鏈，超500位企業(yè)領(lǐng)袖、行業(yè)專家、投資精英到場，研判技術(shù)路線，把脈行業(yè)趨勢。

12月7日下午，在由凱格精機冠名的主題為“打通Mini/Micro LED制程最后‘一公里’”的設(shè)備專場上，海目星激光新型顯示行業(yè)中心總經(jīng)理彭信翰發(fā)表了主題為《打通Micro LED激光制程工藝》的演講，主要從“新型顯示行業(yè)裝備項目的未來”，“激光巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)”，“巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)發(fā)展與未來”等方向與參會嘉賓展開分享。

新興技術(shù)的變革之路總是充滿挑戰(zhàn)，Micro LED技術(shù)也是如此。盡管Micro LED市場前景廣闊，但Micro LED制程也面臨著巨量轉(zhuǎn)移、焊接精度、生產(chǎn)良率、檢測返修等諸多難題。

彭信翰也提出，“在Micro LED領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)與國際領(lǐng)先水平并駕齊驅(qū)甚至領(lǐng)跑已成為當務(wù)之急，加快發(fā)展顯示制造裝備已是迫在眉睫。”

的確，Micro LED顯示面板的制造工序較多，其中Micro LED巨量轉(zhuǎn)移、巨量焊接及巨量修復是Micro LED顯示屏的必備制程，激光技術(shù)及其裝備是Micro LED顯示面板產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵核心裝備，相較于原來OLED制程裝備大部分仰賴進口，Micro LED制程國產(chǎn)化裝備有望領(lǐng)跑國際。

就激光巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備來說，主要應(yīng)用于Micro LED巨量轉(zhuǎn)移和單點修復制程，可實現(xiàn)對任意尺寸任意間距RGB芯片選擇性轉(zhuǎn)移，在修復段用于芯片單點轉(zhuǎn)移。

據(jù)彭信翰介紹，激光轉(zhuǎn)移具有高產(chǎn)出、高精度等特點，且在可選擇性轉(zhuǎn)移方面有較大優(yōu)勢。目前，Micro LED巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)主要有兩大技術(shù)路線，分別為透過Mask選擇性轉(zhuǎn)移以及控制激光束轉(zhuǎn)移。

其中，控制激光束轉(zhuǎn)移是當前的主流技術(shù)路線，海目星激光通過這一技術(shù)路線推出二極管泵浦固體(DPSS)激光器，目前已經(jīng)實現(xiàn)轉(zhuǎn)移像素密度超600PPI,制程良率已達99.99%以上，轉(zhuǎn)移基板尺寸超過11”，達到國際領(lǐng)先水平，可實現(xiàn)巨量轉(zhuǎn)移+轉(zhuǎn)移修復+面板修復。

二極管泵浦固體(DPSS)激光器應(yīng)用于Micro LED巨量鍵合制程，搭配高精度溫控激光器、快速視覺對位與演算法實現(xiàn)本應(yīng)用。本制程為使用光斑整形后的線型光斑，將預先排列于玻璃上的LED以線掃方式，通過吸收激光之能量后實現(xiàn)巨量焊接的工藝。

就工藝效果而言，Micro LED巨量焊接設(shè)備在完成焊接后，透過目檢可看到芯片對位精準，在點亮測試中可實現(xiàn)點亮與控制皆符合制程要求。彭信翰直言，“目前Micro LED巨量焊接設(shè)備已實現(xiàn)12”以上基板RGB三色焊接工藝，良率至高達99.99%以上(排除來料芯片等異常)。”

焊接完成之后，面板屏上會存在一些缺陷，這就需要做修復工作。為此，海目星還推出Micro LED Trimming設(shè)備，針對Micro LED制程中產(chǎn)生的缺陷，進行膠層、芯片去除與焊盤修整，以利后續(xù)修補制程。

經(jīng)過該設(shè)備修復之后，面板生產(chǎn)芯片點亮良率可達到99.9%，甚至99.99%，修補后良率達到99.9999%，甚至100%。彭信翰表示，該項技術(shù)將解決Micro LED顯示面板無法完美修復的問題，并推進新型顯示關(guān)鍵設(shè)備的國產(chǎn)自主化，降低生產(chǎn)成本。

當Micro LED制程難點得以解決，Micro LED應(yīng)用爆發(fā)還有多遠？降本成為關(guān)鍵！

彭信翰認為，Micro LED降本主要有以下三大途徑：“第一，裝備及材料國產(chǎn)化；第二，創(chuàng)新技術(shù)及制程的推出；第三，生產(chǎn)規(guī)模化，良率提升。”

作為國內(nèi)設(shè)備廠商領(lǐng)先者，海目星激光憑借強大的研發(fā)實力和對市場的洞察力，迅速在Micro LED設(shè)備領(lǐng)域嶄露頭角，并成為推動Micro LED技術(shù)變革的關(guān)鍵力量。

早在2017年，當大多數(shù)企業(yè)還在觀望Micro LED市場的時候，海目星激光則敏銳地察覺到了這一新興市場的巨大潛力，并迅速組建團隊進行了深入調(diào)研、分析、論證。

經(jīng)過長達4年的技術(shù)儲備，2021年，海目星激光正式成立新型顯示行業(yè)中心，全力以赴進軍Micro LED設(shè)備市場。不同于大多數(shù)設(shè)備企業(yè)選擇在Mini LED封裝設(shè)備市場中分一杯羹，海目星選擇堅定地深耕Micro LED設(shè)備市場。

“Mini LED技術(shù)已經(jīng)非常成熟，市場逐漸進入紅海。而Micro LED則是未來的風口，它的興起需要大家共同推動。”彭信翰最后提到。

審核編輯：劉清