第三代半導體材料SiC（碳化硅）憑借其高擊穿電壓、低導通電阻、耐高溫等特性，在新能源汽車、工業電源、軌道交通等領域展現出顯著優勢。然而，SiC器件的高頻開關特性也帶來了動態測試的挑戰：開關速度可達納秒級，電壓電流變化率（dv/dt、di/dt）極高，傳統測量方法難以捕捉瞬態細節。是德示波器憑借其高帶寬、高精度及專業的分析功能，成為精準測量SiC動態特性的關鍵工具。本文將深入探討其應用方法及技術要點。

一、SiC動態特性測量的核心挑戰
SiC器件的動態特性主要體現在開關過程中的電壓電流波形變化，包括開通延遲、關斷延遲、反向恢復時間、開關損耗等參數。這些參數直接影響系統的效率與可靠性。測量時需克服以下難點：
1. 高頻信號捕捉：SiC開關頻率可達MHz級別，要求示波器具備足夠的帶寬（通常≥1GHz）以避免信號失真。
2. 高壓大電流瞬態：SiC器件耐受電壓可達數千伏，電流變化率極高，需確保探頭及示波器的安全性和動態范圍。
3. 寄生參數干擾：PCB布局、探頭連接產生的寄生電感會加劇波形振鈴，影響測量精度。
二、是德示波器的關鍵技術支撐
是德示波器通過以下技術突破，滿足SiC動態測試需求：
1. 超高帶寬與采樣率：如Infiniium UXR系列示波器提供高達80GHz帶寬和640GSa/s采樣率，可還原納秒級信號細節。
2. 低噪聲底與高精度ADC：采用16bit垂直分辨率，降低量化誤差，確保測量結果的準確性。
3. 專業觸發與分析功能：
邊沿觸發/窗口觸發：精準定位開關瞬態，避免漏捕關鍵波形。
功率分析軟件：一鍵計算開關損耗、導通電阻等參數，簡化數據處理。
頻譜分析/眼圖分析：深入評估信號完整性及系統EMI性能。
三、精準測量步驟與技巧
1. 硬件連接與參數配置
探頭選擇：使用差分探頭（如N2790A）隔離共模噪聲，高壓探頭需確保安全工作范圍。
垂直/水平設置：根據被測信號幅值調整垂直靈敏度（如1V/div），水平時基設置需覆蓋完整開關周期（如20ns/div）。
觸發設置：選擇邊沿觸發模式，設置合適的觸發電平（如Vds的50%閾值）以確保穩定捕獲波形。
2. 動態特性參數提取
開關損耗測量：通過示波器功率分析功能，自動計算開通/關斷損耗。需確保電壓電流探頭同步觸發，避免相位誤差。
反向恢復時間（Trr）測量：觀察二極管關斷時的電流波形，利用光標或自動測量功能獲取Trr值。
dv/dt與di/dt分析：通過示波器的導數功能實時顯示電壓電流變化率，評估器件應力。
3. 寄生參數優化
縮短連接線長度：使用有源探頭直接焊接在器件引腳上，減少寄生電感。
PCB布局優化：參考“星型接地”設計，縮短信號回路，降低振鈴。
四、實際案例分析：SiC MOSFET開關特性測量
以半橋電路為例，使用是德示波器測量SiC MOSFET的開關波形：
1. 連接探頭：將差分探頭分別連接柵極-源極（Vgs）、漏極-源極（Vds），電流探頭串聯在漏極回路。
2. 觸發設置：選擇Vgs上升沿觸發，設置觸發電平為5V。
3. 波形分析：
觀察Vgs波形確認驅動信號是否正常；
對比Vds與Id波形，計算開通損耗（∫(Vds×Id)dt）；
通過頻譜分析功能評估EMI風險。
結果示例：示波器捕獲的波形顯示，器件開通時間僅為12ns，Vds過沖為20%，通過優化柵極電阻可將過沖降至10%，驗證了測量結果的指導意義。
五、最佳實踐與注意事項
1. 定期校準示波器：使用是德校準套件（如N4693B）確保測量精度。
2. 環境控制：避免高溫/電磁干擾環境，使用屏蔽箱或接地良好的工作臺。
3. 動態范圍優化：使用示波器的“動態余量”功能，防止大信號壓縮小信號細節。
4. 數據存儲與分析：利用示波器的波形分段存儲功能，捕獲長時間序列中的異常瞬態。

是德示波器通過其卓越的硬件性能與專業分析工具，為SiC器件的動態特性測量提供了全面解決方案。從硬件配置到數據分析，工程師可精準獲取開關損耗、反向恢復時間等關鍵參數，進而優化電路設計、提升系統可靠性。隨著SiC技術的持續演進，是德示波器在高頻、高壓測量領域的技術創新，將進一步推動第三代半導體應用的落地與突破。

審核編輯 黃宇