他改變了全球半導體產業技術路徑，讓老大哥英特爾（Intel）及設備商艾斯摩爾（ASML）、尼康（Nikon）等業內巨頭，舍棄耗費逾10 億美元和數年的研究心力，跟著他與臺積電一起轉彎。 不但全球半導體制程得以往下推進6 到7 個世代，約14 年時光，臺積電也因此躋身一線大廠、主導業界規格。

他是中研院院士林本堅，臺積電前研發副總經理。 臺積電董事長張忠謀曾稱，假如沒有林本堅及其團隊，「臺積電的微影（半導體關鍵制程之一）不會有今天這規模。 」

退休后在清華大學擔任特聘研究講座教授的林本堅，近日出版他第一本半自傳式著作，并與我們一起重溫當年他是如何扭轉乾坤。

林本堅在越南出生，至青春期才來***求學，說話語調細軟，過去部屬昵稱他「Burn（其英文名）爺爺」。 他待人和善，但對所相信的事物和理念，卻不輕言退讓。

時間回溯到2002年，林本堅受邀參加一場國際光電學會技術研討會，會中他發表這項發現，語驚四座，因為當時的半導體設備商多研發焦點放在如何延續干式機臺的生命，并已耗費數十億美元進行開發。林本堅的理論無疑是在業界投出一顆炸彈，但經過他無數研討會努力奔走、尋找與設備商合作，最后，臺積電在2004年與ASML共同完成開發全球第一臺潤式微影機臺，讓業界在震驚之余也刮目相看。

如今，浸潤式顯影不但是英特爾（Intel）等半導體龍頭、設備商所認定的跨入45納米制程之后的解決方案，也已正式納入國際半導體藍圖架構成為主流。

林本堅曾說，22納米制程之后多重直接式電子束（E-Beam Direct Write）將是最佳解決方案，他說航太工程的演進給了他許多靈感，他巧妙地比喻，現在許多設備商投入的EUV設備就像是太空梭一樣成本太昂貴，又不適合載客，E-Beam就是向不需要飛行跑道的直升機，可以直接空降在晶圓上，靈巧又符合成本效益。看來“一沙一世界、一納米一宇宙”這句話用在他身上再洽當也不過了。

「雖千萬人，吾往矣！ 」林本堅如此形容他2002 到 04 年那改寫歷史的一役。

當時狀況是這樣的：隨著半導體制程往下演進，關鍵制程之一的微影，也得持續縮短光束波長。 一直以來，業界習慣以空氣為媒介，是「干式」的微影，但此技術卻已「撞墻」，在157 納米波長卡關。 而當時任職臺積電的林本堅卻跳脫框架，退回157 納米波長的上一世代，改用水做為介質，發展出「浸潤式微影」技術，讓光束波長一舉縮短至134 納米，突破瓶頸。

這樣的破框思維，起初卻是孤獨，甚至遭受敵意。

因其他業者已投入共計逾十億美元研發經費在干式顯影上，接近當時臺積電一整年的資本支出。 林本堅的理論若被采用，等于宣告其他人前功盡棄。 臺積電前共同營運長蔣尚義為林本堅寫序：「（當年）確實有大公司的高層主管表達嚴重關切，希望我能管管他（林本堅），不要攪局。 」

對內，林本堅要讓蔣尚義和張忠謀等主管埋單，對外，則要說服業界拋棄原有投入。

他的秘訣，是「徹底」2 字，徹底的思考，并徹底執行。 「像下棋一樣，要先想好后面好幾步，」林本堅說，做事前，推演至窮盡，是他一直以來的習慣，「把所有可能一直想下去，（直到）想不到可能。 」

一位曾和林本堅走過那一役的臺積電主管記得，起初反對方常在國際研討會上與臺積電針鋒相對，質疑以水做為介質易產生污染，且水中的氣泡會影響曝光等等。對外界疑慮有備而來的林本堅，決定更徹底解決，便帶著團隊在半年內完成三篇論文，投稿到國際期刊，連還未被提出的質疑也一并設想、響應。 「原本一個美國大廠的代表說他們絕不用這技術，結果一個（半導體制程）世代后，他們也用了。 」

除了論理，林本堅的溝通也做得徹底，當時他跑遍美國、日本、荷蘭與德國等地，一一拜會業界，促使艾斯摩爾與尼康等廠商轉向。 他說，溝通，是他從張忠謀身上學到重要的一課。

從他2000 年加入臺積電以來，張忠謀每一季便固定與三級主管們分兩梯次共進午餐，與副總經理們則每月聚會。 會中張忠謀與主管們可從公司發展聊到國際政經情勢，包括臺積電最核心的「誠信正直」、「承諾」等價值，也在其中凝聚，「董事長會鼓勵大家問他問題，有時候大家問得好，他就很高興的回答，什么都不吃了。 」

「想得徹底、做得徹底，是他的習慣，」和林本堅牽手50 年的妻子黃修慧舉例，他擔任教會詩班指揮，許多成員不擅長讀五線譜，遇到重復段落的符號，常忘記回頭重唱，一般指揮會不斷糾正提醒，但林本堅則徹底解決問題，重新謄打歌譜， 把重復符號后的譜直接寫出來，讓所有人能順利唱下去。

不過，林本堅的「徹底」帶著巧勁，他認為遇到困難，有時不妨先停下、休息，甚至繞道，再前進，會比只是遵循前人道路，一味的「愚公移山」好。 當初他提出浸潤式微影，就是繞出業界的慣常道路，迸出靈光。

「他常說，想象可以無窮，只是實際運用時，要謹慎，他從來不抑制工程師的任何想法，」前述臺積電主管表示，林本堅相當鼓勵部屬想象，如此才可能創新。

兩年前開始在大學任教后，林本堅也如此期許學生，不要成為填鴨教育「惡補的奴隸」。 他鼓勵學生們合作，規定有些作業必須組隊完成，就像他過去扭轉半導體規則，雖由他一人提出想法，后續卻需要張忠謀與蔣尚義等人的支持，并在外找到盟友，才能實踐劃時代的技術。

「我希望能盡量把一些有價值的事傳承給下一代，」和寫書的初衷一樣，今年76歲的林本堅，要持續以學校做為平臺，傳授思考與實踐之道。

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