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多晶硅原料是什么

工程師 ? 來源:未知 ? 作者:姚遠(yuǎn)香 ? 2019-04-11 14:07 ? 次閱讀

多晶硅生產(chǎn)的原料是三氯氫硅和氫氣,按照一定的比例計入還原爐內(nèi)進行熱分解和還原反應(yīng)產(chǎn)生多晶硅棒。

三氯氫硅是用氯化氫和工業(yè)硅粉在合成爐內(nèi)反應(yīng)生成,氯化氫是用氫氣和氯氣在氯化氫合成爐內(nèi)燃燒生成,氯氣是氯化鈉工業(yè)鹽水通過通電反應(yīng)生成,氫氣即可以用氯化鈉工業(yè)鹽水通過通電反應(yīng)生成。也可以用水通電電解生產(chǎn)。工業(yè)硅粉是用石英礦與碳在通電的情況下還原反應(yīng)生成工業(yè)硅塊,經(jīng)粉碎變成工業(yè)硅粉。

現(xiàn)價段,中國的多晶硅廠家都是直接購進三氯氫硅,有合成三氯氫硅工序的很少。因為三氯氫硅的合成是氯氣和硅粉在高壓高溫下反應(yīng)生成,類似于合成氨。所以一方面危險性高,另一方面硅粉分離比較成問題,還有一方面投資也大。本來一個年產(chǎn)300噸多晶硅規(guī)模的不要合成三氯氫硅工序就要投資一億多,所以一般企業(yè)都不上。

多晶硅的生產(chǎn)工藝主要由高純石英(經(jīng)高溫焦碳還原)→工業(yè)硅(酸洗)→硅粉(加HCL)→SiHCL3(經(jīng)過粗餾精餾)→高純SiHCL3(和H2反應(yīng)CVD工藝)→高純多晶硅。

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