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6.3.2 氧化硅的介電性能∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》2022-01-03 01:27
6.3.2氧化硅的介電性能6.3氧化及氧化硅/SiC界面特性第６章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容：6.3.1氧化速率∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.2.3濕法腐蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.2.2高溫氣體刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.2.1反應SiC 1230瀏覽量 -
9.3.8 直拉單晶硅中的氮∈《集成電路產業全書》2022-01-03 01:25
點擊上方藍字關注我們NitrogeninCZSilicon撰稿人：浙江大學余學功https://www.zju.edu.cn/審稿人：浙江大學楊德仁9.3硅材料中的缺陷與雜質第9章集成電路專用材料《集成電路產業全書》下冊ADT12寸全自動雙軸晶圓切割機詳情：切割機(劃片機).ADT.823012寸全自動雙軸晶圓切割機成倍提高生產率日本晶圓清洗集成電路 365瀏覽量 -
6.3.1 氧化速率∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》2022-01-02 01:28
6.3.1氧化速率6.3氧化及氧化硅/SiC界面特性第６章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容：6.2.3濕法腐蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.2.2高溫氣體刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.2.1反應性離子刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.1.6離子注SiC 940瀏覽量 -
9.3.7 直拉單晶硅中的碳∈《集成電路產業全書》2022-01-02 01:26
9.3硅材料中的缺陷與雜質第9章集成電路專用材料《集成電路產業全書》下冊ADT12寸全自動雙軸晶圓切割機詳情：切割機(劃片機).ADT.823012寸全自動雙軸晶圓切割機成倍提高生產率日本晶圓清洗設備，大量裝機，提供SiC晶圓、GaN基板、藍寶集成電路 399瀏覽量 -
化合物半導體電子器件研究與進展2022-01-01 02:13
西安電子科技大學教授、副校長郝躍中國科學院微電子研究所劉新宇一、引言化合物半導體具有飽和速度高、能帶易剪裁、帶隙寬等特性，在超高頻、大功率、高效率等方面表現出優越的性能，因此，化合物半導體電子器件已經成為發展信息大容量傳輸和高速處理、獲取的重要器件。以砷化鎵（GaAs）為代表的第二代半導體技術日趨成熟，已廣泛地應用于無線通信、光電通信等領域，成為目前高端信息半導體 2166瀏覽量 -
6.2.3 濕法腐蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》2022-01-01 02:12
6.2.3濕法腐蝕6.2刻蝕第６章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容：6.2.2高溫氣體刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.2.1反應性離子刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.1.6離子注入及后續退火過程中的缺陷行成∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.1.5高溫SiC 893瀏覽量 -
9.3.6 直拉單晶硅中的氧∈《集成電路產業全書》2022-01-01 02:11
點擊上方藍字關注我們OxygeninCZSilicon撰稿人：浙江大學余學功https://www.zju.edu.cn/審稿人：浙江大學楊德仁9.3硅材料中的缺陷與雜質第9章集成電路專用材料《集成電路產業全書》下冊ADT12寸全自動雙軸晶圓切割機詳情：切割機(劃片機).ADT.823012寸全自動雙軸晶圓切割機成倍提高生產率日本晶圓清洗設備集成電路 437瀏覽量 -
Trench MOS 30V-150V DFN5X6 TO-220 TO-251 TO-252 TO-263 SOP-8選型說明2021-12-31 09:44
晶圓 651瀏覽量 -
6.2.2 高溫氣體刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》2021-12-31 09:38
6.2.2高溫氣體刻蝕6.2刻蝕第６章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容：6.2.1反應性離子刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.1.6離子注入及后續退火過程中的缺陷行成∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.1.5高溫退火和表面粗糙化∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6碳化硅 1227瀏覽量 -
9.3.5 微缺陷∈《集成電路產業全書》2021-12-31 09:37
9.3硅材料中的缺陷與雜質第9章集成電路專用材料《集成電路產業全書》下冊ADT12寸全自動雙軸晶圓切割機詳情：切割機(劃片機).ADT.823012寸全自動雙軸晶圓切割機成倍提高生產率日本晶圓清洗設備，大量裝機，提供SiC晶圓、GaN基板、藍寶石晶圓集成電路 700瀏覽量