--- 產品參數 ---
- 穩頻精度 0.05ppm
- 線性測量精度 0.5ppm(0-40)℃
- 角度測量精度 ±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
- 測量分辨力 1nm
--- 產品詳情 ---
SJ6000激光干涉儀高精度測量線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等多幾何參量,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,穩頻精度≤0.04ppm,測量精度0.5ppm,至大測量距離80米。

中圖儀器高精度測量激光干涉儀品牌以干涉技術為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾的能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩定可靠。
功能
(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;
(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
(5)具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;
(6)支持手動或自動進行環境補償。
在動態測量軟件配合下,SJ6000激光干涉儀除了可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測外,還可以進行加速度、位移、速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
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