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激光干涉儀檢測機床各項誤差是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術。
SJ6000本土激光干涉測量儀采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。
在數(shù)控機床精度測量方面,豐富的模塊化組件可根據(jù)具體測量需求而選擇,結合不同的光學鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。廣泛應用于精密檢測儀器、機床、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、三坐標、機器人、精密機械設備等領域的線性測量。

測量機床直線度

測量機床偏擺角度

自動化設備精度測量
SJ6000本土激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。通過與不同的光學鏡組結合,還實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。

注意事項
對角線測量套裝配置需求:對角線測量套裝+可調轉向鏡
平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
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