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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè),致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

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高穩(wěn)定性激光干涉儀

型號: SJ6000系列
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 注釋 如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

--- 產(chǎn)品詳情 ---

SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數(shù);位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應(yīng)用場景下有著各自的優(yōu)勢和適用性。

高穩(wěn)定性激光干涉儀

 

SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。

 

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

高穩(wěn)定性激光干涉儀

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

 

產(chǎn)品功能

(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);

(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);

(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;

(6)支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復(fù)雜的運動系統(tǒng),不僅僅局限于運動導(dǎo)軌,還可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能,減少維護(hù)成本和停機(jī)時間,為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。

高穩(wěn)定性激光干涉儀

 

在機(jī)床領(lǐng)域的應(yīng)用

1.測量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度。

高穩(wěn)定性激光干涉儀

導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測量機(jī)床工作臺的平面度和垂直度。

高穩(wěn)定性激光干涉儀

機(jī)床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋,可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài),并及時進(jìn)行調(diào)整和修正,確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度。

高穩(wěn)定性激光干涉儀

機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋,可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求,從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應(yīng)用,激光干涉儀還可以用于測量機(jī)床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系,從而檢測和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機(jī)床在運行過程中的變形和振動情況,及時發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài),保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。

高穩(wěn)定性激光干涉儀

對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償

 

部分技術(shù)規(guī)格

穩(wěn)頻精度0.05ppm
動態(tài)采集頻率50 kHz
預(yù)熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環(huán)境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m

注意事項:

平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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  • 顯微測量|中圖儀器顯微測量儀0.1nm分辨率精準(zhǔn)捕捉三維形貌2024-01-25 15:34

    顯微測量是利用顯微鏡對微小尺寸和形狀進(jìn)行高精度測量的技術(shù),在先進(jìn)制造業(yè)中具有重要意義。它為制造業(yè)提供了準(zhǔn)確、可靠的測量手段,幫助企業(yè)實現(xiàn)更高水平的制造和更高質(zhì)量的產(chǎn)品。隨著科技的不斷進(jìn)步,顯微測量技術(shù)有望在未來取得更大的突破和應(yīng)用。
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  • VX9000系列光學(xué)掃描成像測量機(jī),滿足PCB行業(yè)多樣化尺寸測量需求2023-12-01 09:29

    VX9700光學(xué)掃描成像測量機(jī)紅、藍(lán)、綠三色光源滿足不同顏色PCB測量需求。高遠(yuǎn)心度雙側(cè)遠(yuǎn)心鏡頭提升數(shù)倍精度,一鍵測量新能源車PCB輪廓度、位置度、外形尺寸。
  • 激光干涉儀檢測機(jī)床的方法(以線性檢測為例)2023-10-27 15:21

    激光干涉儀檢測機(jī)床的方法(以線性檢測為例)1.進(jìn)行線性測量的一般步驟(1)安裝設(shè)置激光干涉儀(2)將激光束與被測量的軸校準(zhǔn)(3)啟動測量軟件,并輸入相關(guān)參數(shù)(如材料膨脹系數(shù))。(4)在機(jī)床上輸入測量程序,啟動干涉儀測量,并記錄數(shù)據(jù)。(5)用測量軟件分析測量數(shù)據(jù),生產(chǎn)補(bǔ)償文件。線性測量應(yīng)用2.光束快速準(zhǔn)直步驟(1)沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開。(2)移動機(jī)床工作臺,當(dāng)光束離開光靶外圓時停止移動,垂
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