--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
中圖儀器SJ6000位移加速度動態(tài)激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
動態(tài)測量概述
SJ6000動態(tài)測量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動態(tài)測量與性能檢測。
動態(tài)測量包括基于時間的動態(tài)測量和基于距離的動態(tài)測量,SJ6000動態(tài)測量軟件可對動態(tài)測量數(shù)據(jù)進行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。




動態(tài)測量應(yīng)用
1、基于時間的動態(tài)測量
機器運動控制性能評價:
(1)運動控制器PID控制參數(shù)測試與設(shè)置
(2)動后機器的穩(wěn)定性測試與評價
(3)能運動控制器的微小步幅的測試
振動監(jiān)視
(1)掃描應(yīng)用:用于定位精度不重要,但恒速對實現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場合
(2)機床應(yīng)用:典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運動的高質(zhì)量表面精加工
振動頻率分析
(1)被測對象的振動頻率分析
(2)FFT快速傅立葉變換分析
2、基于距離的動態(tài)測量
基于距離的動態(tài)測量,SJ6000位移加速度動態(tài)激光干涉測量儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量,即運動軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進行數(shù)據(jù)采集。
3、提供脈沖觸發(fā)方式采集
CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號,配合SJ6000激光干涉儀,可實現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運動軸在不停頓的情況下,觸發(fā)激光干涉儀按照定的間隔位置進行數(shù)據(jù)采集。

SJ6000位移加速度動態(tài)激光干涉測量儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,其非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復(fù)雜的運動系統(tǒng),不僅僅局限于運動導(dǎo)軌,還可以檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能,減少維護成本和停機時間,為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。
產(chǎn)品功能
(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。

部分技術(shù)規(guī)格
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預(yù)熱時間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m |
垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
注意事項:
平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測量配置需求:依據(jù)軸向量程范圍,選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
測量軟件
(1)友好的人機界面;
(2)豐富的應(yīng)用功能模塊;
(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
(4)簡潔化的記錄管理;
(5)支持中文、英文和俄文界面;
(6)支持企業(yè)專屬模板定制。
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
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