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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè),致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

3.1k 內(nèi)容數(shù) 99w+ 瀏覽量 157 粉絲

大行程探針式輪廓儀

型號: SJ5760系列
品牌: 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 注釋 更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取

--- 產(chǎn)品詳情 ---

中圖儀器SJ5760系列大行程探針式輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器;采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精度研磨級導(dǎo)軌、高性能非接觸直線電機、音圈電機測力系統(tǒng)、高性能粗糙度測量模塊、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)對各種工件表面粗糙度和輪廓進行測量和分析。

未標(biāo)題-4.jpg

大行程探針式輪廓儀可測量各種精密機械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。用擬合法來評定圓弧、直線等參數(shù)。從而可測量圓弧半/直徑、直線度、角度、凸度、位置度、平行度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺階等形狀參數(shù)。該儀器還可對各種零件表面的粗糙度進行測試評定。

1.表面輪廓評定:

(1)輪廓尺寸測量:半徑、直徑、角度、距離、線性偏差;

(2)形位公差:直線度、圓度、位置度、平行度、垂直度、輪廓度等;

(3)建立坐標(biāo)系:確定點、坐標(biāo)軸、直線、垂直線,支持點-線、線-線建立坐標(biāo)系,可平移、旋轉(zhuǎn)坐標(biāo)系;

(4)輪廓分析構(gòu)造:確定相交點、相交線、圓、構(gòu)造平移偏置點、線,建立回歸直線,中心點、自由點等輪廓分析;

(5)自定義輪廓測量:可根據(jù)工件特性(比如有孔、槽的工件表面,測量流程自定義避開工件中不需要測量的部分,進行非連續(xù)性測量;

(6)特殊工具應(yīng)用(選配):支持滾珠絲桿測量(糾正螺旋角)、螺紋牙形角/螺距測量、臺階高度、溝槽深度、溝槽底部尺寸、面積、凸度等;

(7)實際值與標(biāo)稱值比較。

2.表面粗糙度評定: 

(1)Ra,Rp,Rv,Rz,Rt,Rmax,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr;

(2)P(Pt\Pa)等參數(shù)、W參數(shù)等多參數(shù)評定;

(3)Motif參數(shù)、Rcore核心參數(shù)的評定。

應(yīng)用.jpg

 

技術(shù)參數(shù)

型號SJ5760-PR
輪廓參數(shù)測量范圍X軸0~200mm
Z軸0~450mm
Z1軸±25mm
分辨率X軸/Z1軸0.01μm(0.1μm、1μm可選)

 

 

測量精度

X軸±(0.6+0.015L)μm,(L,mm)
Z1線性精度±(0.6+0.05H)μm,(L,mm)
曲率誤差(直徑)≤±(1+R/15)μm
角度誤差≤±1′
爬坡能力上坡77o,下坡88o
測力10-150mN可調(diào)
粗糙度參數(shù)
 

直線度(X掃描軸)

≤0.4μm/100mm,≤0.8μm/200mm

 

測量范圍

Z0軸±20μm;±100μm;±400μm(可選±1000μm特殊量程)

傳感器類型

無軌式

適用測量范圍

Ra0.1μm~Ra64μm

分辨率Z0軸0.001μm(0.01μm可選)
測量精度示值誤差≤±(5nm+2.5%A)μm
重復(fù)性

≤1nm(0.1-0.2μm方波粗糙度樣塊、標(biāo)準臺階塊)

≤1%(≥0.4μm方波粗糙度樣塊、標(biāo)準臺階塊)

 

 

 

 

測量參數(shù)

R粗糙度:

Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr等

核心粗糙度: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo等

P輪廓參數(shù):Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq, Pdc, PPc,Pmr, 等

W波度輪廓參數(shù):Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr等

Motif參數(shù):R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte,Nr,Ncrx,Nw,Cpm,CR,CF,CL等

儀器尺寸800×450×1000(mm)
儀器重量約115Kg

 

強大的硬件支撐

1. 輪廓形狀和表面粗糙度一體測量—共用主體,切換不同模塊,可對同一表面進行輪廓形狀和粗糙度測量,也可以采用選配模塊,能一次測量將輪廓形狀和粗糙度同時分析;

2.高精度、高可靠性和高重復(fù)性——采用高精度光柵系統(tǒng)為測量基準;研磨導(dǎo)軌為導(dǎo)向系統(tǒng);直線電機為驅(qū)動系統(tǒng);

3.自動調(diào)節(jié)測力系統(tǒng)——采用音圈電機測力系統(tǒng),測力可實現(xiàn)10-150mN聯(lián)系可調(diào),分辨率可達0.2mN;

4.智能保護系統(tǒng)---儀器在各個方向都有保護,能有效的降低人員操作失誤帶來的損傷;

 

專業(yè)的測量分析軟件

1.簡潔易用的測量標(biāo)注——各種輪廓測量標(biāo)注,滿足測量需求;各類粗糙度評定標(biāo)準,隨意切換。

2.強大的軟件管理分析——符合中國人習(xí)慣,采用集中式管理數(shù)據(jù),簡化人員操作,智能化分析及記錄;

3.理論圖紙與實物測量比對——可導(dǎo)入CAD圖紙到測量記錄,將理論特征及尺寸與實際測量結(jié)果進行比對分析;

4、CNC功能及統(tǒng)計分析——能實現(xiàn)同批次相同類型零件進行批量測量,并具有SPC統(tǒng)計分析功能。

 

密封槽及軸承倒角測量.jpg

密封槽及軸承倒角測量

性能特點

1、高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性:滿足被測件測量精度要求。

1)SJ5760系列大行程探針式輪廓儀選用高精度光柵測量系統(tǒng)和高精度電感測量系統(tǒng),測量精度高;

2)自主研發(fā)高精度研磨導(dǎo)軌系統(tǒng),導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)穩(wěn)定可靠工作;

3)高性能直線電機驅(qū)動系統(tǒng),保證測量穩(wěn)定性高、重復(fù)性好。

2、智能化管理與檢測軟件系統(tǒng):

儀器操作界面友好,操作者很容易即可基本掌握儀器操作,使用十分簡便。

1)公司多年積累的實用測量軟件設(shè)計經(jīng)驗,向客戶提供簡潔、實用、快速的操作體驗;

2)功能強、自動處理數(shù)據(jù)、打印各種格式的報告,自動顯示、打印、保存、查詢測量記錄;

數(shù)據(jù)可存檔,或集中打印,不占用檢定操作時間;

3)測量范圍廣,滿足所有類型的工件輪廓測量、包括特殊工件絲桿、軸承、螺紋等輪廓的特殊測量功能;

4)可自動和手動選取被測段進行評定,可依據(jù)客戶要求進行軟件功能的定制;

5)強CNC自動測量及自動標(biāo)注分析功能;

針對同類型大批量的工件,能進行CNC測量,自動分析處理數(shù)據(jù),并將數(shù)據(jù)進行SPC統(tǒng)計,能進行多種方式統(tǒng)計分析,給予品質(zhì)控制指導(dǎo);

6)采用計算機大容量數(shù)據(jù)庫儲存,可自動記錄保存所有檢定結(jié)果。

3、同時能測量表面粗糙度和輪廓形狀

共用主體,只需切換不同模塊,可對產(chǎn)品進行輪廓形狀測量和微觀粗糙度測量。

4、可進行多參數(shù)評定

粗糙度可依據(jù)不同標(biāo)準進行自動評價,包含Ra,Rp,Rv,Rz,Rt,Rmax,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq,Rdc, Rmr及P參數(shù)、W參數(shù)、Motif參數(shù)、Rcore核心參數(shù)等多參數(shù)評定。

5、厚度參數(shù)測量

粗糙度參數(shù)測量的同時可同時測量60微米以內(nèi)的一些薄膜臺階高度、厚度尺寸,測量方便,精度控制在2%H(H,測量總高度)以內(nèi),特別適合高精度且不能有刮傷的測量場合。

6、測量力系統(tǒng):

采用音圈電機測力系統(tǒng),測力可實現(xiàn)從10~150mN連續(xù)可調(diào),測力分辨力可達0.2mN;避免了因周圍環(huán)境振動帶來的測力誤差,降低了測力變化引起的測量誤差。

7、智能保護系統(tǒng):

儀器在各個方向都有進行硬件及軟件保護,能有效的保護儀器主機及測針,降低人員因操作失誤帶來的測針及儀器損傷。

8、靈活手動控制:

儀器配置了特殊分離式操作桿,操作桿在儀器操作移動時,可放置在任何位置控制操作,在測量工件前對測針進行初步定位;在脫離電腦的情況下,操作桿具備左右/上下移動測針、儀器急停、測桿上下擺及移動速度多級調(diào)節(jié)功能。

 

環(huán)境條件

溫度:20±5℃

相對濕度:10%~80%

電源/功率:220V,50Hz,≤350W;

校準室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、震動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強磁場

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  • 白光干涉儀(光學(xué)輪廓儀):揭秘測量坑的形貌的利器!2023-10-26 10:47

    SuperViewW1白光干涉儀結(jié)合數(shù)字圖像處理技術(shù)和三維重建算法來提高測量的精度和效率,揭秘并測量坑的形貌,為科學(xué)研究和工程實踐提供更有力的支持。
  • 納米級測量儀器:窺探微觀世界的利器2023-10-11 13:49

    納米級測量儀器在納米科技研究領(lǐng)域中扮演著重要的角色。通過共聚焦顯微鏡、光學(xué)輪廓儀等的運用,科研人員們能夠更加深入地了解納米世界的奧秘。
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  • 微納共聚焦顯微鏡:檢測摩擦學(xué)研究的重難點2023-09-22 09:13

    針對磨損區(qū)域較大、坡度也較為陡峭的生物摩擦和流體摩擦領(lǐng)域,采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡更加匹配,其遠勝于光學(xué)3D表面輪廓儀的大角度測量能力和超景深觀察功能,能夠輕松勝任磨損較為嚴重的表面形貌檢測,從而幫助研究人員更加精準的掌握磨損量評價數(shù)據(jù)。
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  • 先進封裝廠關(guān)于Bump尺寸的管控2023-09-06 14:26

    BumpMetrologysystem—BOKI_1000在半導(dǎo)體行業(yè)中,Bump、RDL、TSV、Wafer合稱先進封裝的四要素,其中Bump起著界面互聯(lián)和應(yīng)力緩沖的作用。Bump是一種金屬凸點,從倒裝焊FlipChip出現(xiàn)就開始普遍應(yīng)用,Bump的形狀有多種,常見的為球狀和柱狀,也有塊狀等其他形狀,下圖所示為各種類型的Bump。Bump起著界面之間的電氣互聯(lián)和應(yīng)力緩沖的作用,從Bondwire
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